特性
• θx, θy 偏擺運(yùn)動，Z向升降
• 閉環(huán)定位精度高
• 響應(yīng)速度快
• 透光孔：80×80mm
典型應(yīng)用
• 掃描顯微
• 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲
• 干涉/計(jì)量
• 空間擾動模擬系統(tǒng)
• 生物技術(shù)
• 掩模與晶片位置調(diào)整
超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用
P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。
仿真分析
通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動方向上最高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許極高精度的運(yùn)動，因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無間隙、無摩擦。
超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高
P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。
P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。
可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有極佳的運(yùn)動控制精度，直線運(yùn)動分辨率可達(dá)到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。
頻率負(fù)載曲線
技術(shù)參數(shù)
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型號 |
尾綴S-閉環(huán) |
P51.ZT1S |
P51.ZT1K |
單位 |
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尾綴K-開環(huán) |
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運(yùn)動自由度 |
θx,θy,Z |
θx,θy,Z |
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運(yùn)動和定位 |
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標(biāo)稱直線行程范圍 |
80 |
80 |
µm±20% |
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最大直線行程范圍 |
110 |
110 |
µm±20% |
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標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度 |
±0.9 |
±0.9 |
mrad/軸±20% |
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最大偏轉(zhuǎn)角度 |
±1.1 |
±1.1 |
mrad/軸±20% |
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傳感器類型 |
SGS |
- |
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Z向直線分辨率 |
7 |
4 |
nm |
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θx, θy偏擺分辨率 |
0.25 |
0.05 |
µrad |
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閉環(huán)線性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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閉環(huán)重復(fù)定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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機(jī)械性能 |
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推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
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Z向剛度 |
1.5 |
1.5 |
N/µm±20% |
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空載諧振頻率 |
0.23 |
0.23 |
kHz±20% |
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空載階躍時(shí)間 |
30 |
4.5 |
ms±20% |
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空載工作 |
10%行程 |
50 |
>50 |
Hz±20% |
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100%行程 |
15 |
>15 |
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承載能力 |
1 |
kg |
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驅(qū)動性能 |
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靜電容量 |
3.6 |
μF/軸±20% |
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其他 |
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工作溫度范圍 |
-20~80 |
°C |
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材質(zhì) |
鋼、鋁 |
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外形尺寸 |
150×150×20 |
mm |
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通光孔徑 |
80×80，4×R5 |
mm |
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重量 |
820 |
g±5% |
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出線長 |
1.5 |
m±10mm |
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傳感/電壓連接器 |
LEMO |
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注： 可定制超低溫版本及超高真空版本。 連接器可定制。
應(yīng)用案例
激光合束
激光合束對準(zhǔn)的裝置涉及激光合束對準(zhǔn)技術(shù)領(lǐng)域、光電干擾技術(shù)領(lǐng)域及激光致盲干擾技術(shù)領(lǐng)域，系統(tǒng)目的是實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)的精密跟蹤與瞄準(zhǔn)。激光發(fā)射系統(tǒng)是對激光束進(jìn)行擴(kuò)束、準(zhǔn)直、聚焦的光學(xué)系統(tǒng)。為消除大氣抖動、湍流等因素對激光傳輸?shù)挠绊懀２捎米赃m應(yīng)光學(xué)技術(shù)，通過實(shí)時(shí)修正可調(diào)二維擺鏡，提高激光合束對準(zhǔn)精度保證激光束聚焦良好。
顯微成像
微位移驅(qū)動技術(shù)是精密測量與精密制造的關(guān)鍵技術(shù)之一。隨著微納制造技術(shù)的快速發(fā)展，需求納米級驅(qū)動控制技術(shù)的領(lǐng)域越來越多。六自由度納米工作臺已成為微小器件表面形貌測量的全場并行共焦顯微鏡關(guān)鍵部件，它的驅(qū)動技術(shù)及驅(qū)動系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)微動平臺的快速調(diào)整、高精度定位和微型化。
光束掃描
偏擺臺/鏡是現(xiàn)代光機(jī)系統(tǒng)的重要組成部分之一，主要應(yīng)用在高精光機(jī)系統(tǒng)的掃描跟蹤、光路調(diào)制和抖振抑制等。壓電偏擺臺可實(shí)現(xiàn)快速光束掃描，在保證精度的同時(shí)，并能保證快速跟蹤。非常適合應(yīng)用在新一代的空間光機(jī)系統(tǒng)，如激光通信平臺、空間望遠(yuǎn)鏡和偵查相機(jī)等。
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