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中晟光電大型MOCVD設備ProMaxyTM正式進入市場
2013-03-22來源:中國半導體照明網 作者： 行業：其他
2013年3月19日，中晟光電設備(上海)有限公司正式發布大型 MOCVD 設備 ProMaxyTM 進入市場。已有客戶接受多腔 ProMaxyTM 并調試進展順利。此外，多家客戶對 ProMaxyTM完成了現場驗機與評估。
ProMaxyTM專注于超高亮度 LED 的大規模生產，具有目前世界上最高的系統產能， 264 片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸;具有最低的單片外延生產成本;具有良好的波長均勻性及大規模外延生產所需的各項關鍵性能。
ProMaxyTM 提供機臺配置的靈活性， 客戶可以根據需要配置 1-4 個反應腔，各個反應腔獨立操作控制，提高設備效率和生產的靈活性。
ProMaxyTM適合大規模生產多種器件，包括藍白光 LED、綠光LED、紫外光 LED 以及功率器件等,且簡單更換工藝程序即可實現不同器件的生產。
公司董事長兼執行長陳愛華博士指出：“中晟推出 ProMaxyTM旨在為我們的客戶提供最優的擁有價值和能發揮客戶自身優勢的設備平臺，為半導體照明高速發展提供新的活力。”
客戶也充分肯定了ProMaxyTM的技術方向和設計上的世界先進性。漢萊總經理孫明表示，“中晟 ProMaxyTM MOCVD在兩周內便完成安裝，第二爐便達到 85%的亮度指標。經過進一步的調試和驗證，ProMaxyTM生產出來的 1023 芯片在 20mA 已達 155lm/W，裝入 12W 的 T8燈管，整燈光效仍超過 140lm/W。 ”
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