6月10日消息，據(jù)國外媒體報道，5nm工藝量產(chǎn)已兩年的臺積電，正在推進3nm工藝的量產(chǎn)事宜，這一制程工藝在去年下半年已風險試產(chǎn)，按計劃將在今年下半年大規(guī)模量產(chǎn)。
而除了3nm制程工藝，臺積電也在謀劃更先進的2nm工藝的量產(chǎn)事宜，這一工藝計劃在2025年量產(chǎn)。
外媒的報道顯示，臺積電在近期已宣布，他們將投資340億美元，推動2nm制程工藝的量產(chǎn)，他們已經(jīng)獲得了建廠土地的租賃許可。
另外，有外媒在報道中表示，臺積電的高層，正在同相關方，就建設2nm制程工藝工廠所需的土地進行談判，超過90%的業(yè)主已經(jīng)同意，預計最遲在6月份能獲得建廠所需的全部土地。
除了土地，臺積電2nm制程工藝工廠在廠房的建設方面也需要大量的資金，但花費最多的，預計會是更高端的極紫外光刻機和其他的先進設備。
臺積電從第二代的7nm工藝開始采用極紫外光刻機，隨后量產(chǎn)的5nm等先進制程工藝，都需要極紫外光刻機，他們也從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機，而更先進的2nm工藝所需要的將是高數(shù)值孔徑極紫外光刻機。
阿斯麥已經(jīng)推出的TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D極紫外光刻機中，最先進的TWINSCAN NXE:3600D最高也只能支持5nm和3nm工藝的量產(chǎn)。
而從阿斯麥一季度的財報來看，他們在今年一季度交付3臺極紫外光刻機，營收5.94億歐元，平均一臺的售價接近2億歐元。未來推出的支持2nm制程工藝的更先進的極紫外光刻機，售價將會更高。
