近期，密歇根大學宣布在Micro LED制造工藝上取得突破，這項新的工藝意味著你可以在硅上加入尺寸不到1微米的綠光LED，號稱可實現高性能和高穩定性。據悉，這項研究的目的是提升超高分辨率彩色微顯示器的制造工藝，以開發出適合AR/VR眼鏡的Micro LED技術。

圖片來源：《光：科學與應用》（2022）

據了解，AR/VR眼鏡使用的Micro LED需要非常小巧、低功耗，且具有穩定性和高效性。另外，Micro LED單個像素尺寸小于1微米，制造工藝相當復雜，生產過程的缺陷率超過50%，而這將導致額外成本。而為了改善上述問題，科技行業已經投入了大量資金。

目前已經可以制造出高效、大面積的藍光和紅光LED，但制造出高效、大面積的綠光LED非常困難，將LED組件尺寸縮減到1微米也具有挑戰性。而為了解決這一問題，密歇根大學教授Zetian Mi和他的團隊開發了一種亞微米級的III-氮化物綠光Micro LED，其特點是使用了直徑僅100到200納米，間距僅幾納米的納米線陣列。

科研人員表示：由于氮化物材料和硅襯底之間晶格參數不匹配，會引起絲狀位錯，納米線陣列的功能則是過濾這種絲狀位錯，在硅上可以制造穩定的綠光Micro LED。此外，這種綠光LED制造工藝很容易轉化為藍色，無需轉移就可以將藍光Micro LED集成在硅片上。（來源：青亭網）