中微半導體設備有限公司(簡稱“中微”)的MOCVD設備Prismo D-Blue?于本月舉辦的第十五屆中國國際工業博覽會(簡稱“工博會”)上榮獲銀獎。該產品于今年3月正式發布，是此次獲獎產品中唯一代表半導體外延工藝的MOCVD設備，該產品技術對于高亮度LED的大規模生產至關重要。作為生產LED芯片的關鍵設備，MOCVD設備市場一直為歐美企業所壟斷。具有自主知識產權的MOCVD設備國產化成功，意味著相關技術長期被國外壟斷的局面將被打破，國內LED自主產業生態鏈也將更加完善。
(圖中人物：上海市科委主任壽子琪，上海藍光科技有限公司技術和質量管理副總裁郝茂盛博士，中微首席運營官兼MOCVD產品事業群總經理杜志游博士)
中國領先的本土LED生產商上海藍光科技有限公司是中微MOCVD設備的第一批用戶之一。在祝賀中微獲獎時，藍光公司技術和質量管理副總裁郝茂盛博士特別提出：“中微的設備性能超出了我們的預期，達到了MOCVD設備所應具備的高工藝標準。中微MOCVD設備得此榮譽乃實至名歸。我們很樂于看到中微的MOCVD設備能夠在工博會上得到肯定，同時也準備在我們的LED生產線中能夠更廣泛地使用中微的設備。”
根據工博會評獎管理辦法，銀獎的獲得者必須符合以下條件：第一，屬于全球高科技產業或裝備制造業主導領域的新技術、新產品，達到當代國際先進水平或屬于國內首創;第二，市場競爭力較強，在科技創新和產業化過程中，經濟效益或社會效益相當顯著;第三，必須擁有自主知識產權。只有擁有獨立自主知識產權的產品才可以參與評獎。中微的MOCVD設備通過層層嚴格評審，最終在工博會銀獎的獲獎名單中位列榜首。
中微首席運營官兼MOCVD產品事業群總經理杜志游博士表示：“我們非常自豪能夠獲此殊榮。Prismo D-BlueTM產品是我們MOCVD團隊長期堅持不懈努力的結果，同時也離不開供應商和像藍光這樣優質客戶的緊密合作和支持。在中微團隊的創新和努力之下所開發的MOCVD設備，幫助客戶提高了LED的生產效率，也降低了生產成本，并因此而得到客戶的認同和重視。”
中國國際工業博覽會創立于1999年，是國家發展和改革委員會、商務部、工業和信息化部、科學技術部和上海市人民政府等部門共同主辦的最具國際影響力的工業博覽會。
Prismo D-Blue是中微公司的注冊商標。
關于中微半導體設備有限公司
中微公司致力于為全球半導體和LED芯片制造商提供領先的工藝技術解決方案。除MOCVD設備以外，公司目前主要提供等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備，用于國際一線集成電路客戶45納米到20納米及更先進的芯片加工制造和先進封裝。目前，中微已有200多個刻蝕反應機臺在亞洲地區20多條國際領先的生產線上運行。中微開發的用于大批量LED外延片生產的MOCVD設備也已進入生產線運行。
