長期以來，中國LED外延芯片MOCVD設備市場一直被美國維易科(Veeco)和德國愛思強(Aixtron)兩大巨頭霸占，雖然中國本土化設備已經開始走進企業生產線，但是，習慣于使用進口設備的國內LED芯片企業對國產設備的認知還需要跨過“信心門檻”。

       最近一年多，兩大巨頭的低價競爭更讓中國本土設備企業面臨極大的生存挑戰，使得MOCVD設備產業進入門檻變得更高。面對海外設備商拋出的競爭性壓迫，中國MOCVD設備企業能否頂得住壓力，扛起國產化的大旗，實現國產MOCVD設備“虎口奪食”?為此，記者專訪了中微半導體設備有限公司(簡稱“中微”)資深副總裁杜志游博士，請他介紹了中微在加速MOCVD設備國產化進程中獲取的寶貴經驗。

重視研發 強化專利

       像在其他許多高技術行業一樣，半導體設備行業，已經盤踞市場的先行者們絕不會輕易給“后來者”以瓜分的機會。打專利牌、在知識產權問題上“找茬”的手段最為常用。然而，中微對此早有準備，見招拆招，得心應手。

       中微面對巨頭們的專利“挑釁”，不是退縮和忍讓，而是沉著應戰、攻守得當。中微所經歷的幾場國際專利官司無不以勝訴或和解收場，這已經在業內被贊為中國知識產權保護的佳話。

       杜志游博士表示，從中微過去和美國的半導體制造巨頭之間的幾場專利官司可以看出，中微在專利申請和保護上一貫十分重視和謹慎，在注重自身專利保護的同時也不侵犯別人的專利。因此，中微從來沒有輸過專利官司。可以這么說，中微樹立了中國企業在專利保護方面的典范，改變了中國的高科技公司在知識產權方面相對“軟弱”的局面。

       中微在專利官司上能做到“知己知彼，百戰不殆”，當然這也得益于其背后優秀的科研團隊和知識產權團隊作為支撐。同時，中微優秀的科研團隊不斷地創新，支撐起了一個保護自主知識產權的專利體系。據了解，目前中微有一半以上的員工從事研發工作。

       從研發上來說這是一個很大的團隊。通過十年的發展和積累，中微已經申請了幾百余項國內外專利，涉及MOCVD的專利已超過百項，其中大部分專利已被授權。從研發團隊的組建到專利技術的申請，企業的投入之重令人嘆服，這也足以看出中微在微觀設備研發和創新上所做的不懈努力。

       中國的半導體設備工業起步較晚，在這樣的情況下企業如何吸引全世界的人才，成為企業長足發展所要考慮的另一個重要因素。“中微是一個研發型企業，其核心不是說企業有多少設備、多少廠房、多少土地，而是說有多少優秀的、一流的人才。人才在中微被視為企業發展的頭等大事，中微為此不遺余力。”杜志游博士告訴記者。

       目前，中微擁有三大類產品，第一大類是最早研發的等離子介質刻蝕機，主要使用在半導體IC芯片制造行業;第二大類是硅通孔刻蝕設備，主要用在IC芯片的先進封裝上;第三類就是MOCVD設備，主要用于半導體照明LED芯片的生產。

       杜志游博士表示，“為保證我們的產品能夠在國際市場上取得競爭優勢，就要在技術上不斷創新，并且使產品具有更高的性價比。在中微，我們一直有一個‘為整體經濟效益創新’的產品革新理念，也就是說，要讓我們的產品使用者，乃至順著產品鏈向下游延伸的企業，都能因為我們的創新而獲得經濟上的效益，這比技術上的革新更難，但卻更有意義。中微一直都在朝著這個方向努力。”

打破門檻 嶄露頭角

       當前，美國Veeco和德國Aixtron兩家公司占領了全球幾乎所有的MOCVD設備市場。二者在國際MOCVD設備市場上的占有率多年來連續超過90%，形成了寡頭壟斷的格局，同樣也壟斷了中國的MOCVD設備市場。其技術水平、規模效應、品牌效應、客戶資源等都達到了相當的高度。對于國產MOCVD設備來說，要實現設備的國產化，除了要面對來自巨頭們的競爭壓力，還有一道用戶的“信心門檻”有待跨越。

       CSA Research指出，MOCVD設備很大程度上從成本、產量等方面制約了中國LED產業的健康快速發展。實現大型MOCVD設備及關鍵配套材料的國產化，將是提升我國整個LED產業的技術及創新能力的歷史轉折點。正是由于國內MOCVD設備進口替代潛力顯著，這對產業發展的意義更為重大。

       2013年3月，中微正式發布多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備(MOCVD)，并宣布進入半導體照明市場，一時間成為國內外設備商以及LED芯片企業重點關注的對象。“中微的MOCVD設備已經先后在兩家客戶的LED芯片生產線上成功運行并實現量產，客戶十分滿意。”杜志游博士透露，“基于這樣的情況，中微會在今年下半年進入更多的客戶，其中包括國內以及海外客戶。”

       “數據會說話。我們正在用自己過硬的產品，幫助用戶建立起對國產設備的信心。有關領導部門也在通過政策運用，鼓勵和促成國產MOCVD設備進入生產線。隨著中微的MOCVD設備被越來越多的用戶認可，我們有信心也有能力使國產設備在一個競爭激烈的市場上取得一席之地，并且獲得越來越大的市場份額。”杜志游博士自信地說。

突破壁壘 加速國產化

       通過查閱兩大設備巨頭的財務報表發現，他們都在賠錢，但是目前的設備價格比當初降了40%～50%，有的地方甚至降了60%。業內人士稱，兩大設備商的降價是為了構筑半導體設備領域的“壟斷固化”壁壘，壓制國產MOCVD設備的出頭，其目的是通過壓縮設備的利潤空間迫使國產設備退縮，以實現長期霸占MOCVD設備市場的目的。

       杜志游博士認為，中微已經突破了MOCVD設備技術上的壁壘，并且已經進入了這個市場。同時，打破壟斷實現競爭對客戶是有利的。第一，競爭能夠使得技術不斷地向前發展;第二，競爭能夠促使設備的性價比更高。這就會使得整個LED行業的成本下降，也會促進LED市場的滲透率提高。中微在這兩方面也一直在努力。

       CSA Research數據顯示，隨著通用照明應用規模的持續增長，生產照明用LED芯片所需MOCVD的數量將達到數千臺。近年來，我國半導體照明產業對MOCVD的需求量一直占全球需求量的60%以上，是全球需求量最高的地區。預計2014年，我國新增MOCVD數量將在150臺左右，總的MOCVD設備保有量將達到1240臺。

       但杜志游博士認為，“如今的企業擴產熱度不同以往，大家對待產能擴張還是比較謹慎的，企業通過并購會把一些閑置的產能利用起來，效率也會提高，所以擴產情況可能不會像前幾年那樣迅猛。好在LED市場才剛剛起來，產能過剩也只是暫時的現象，產能應當會在一兩年之內被消化掉。總的來說，LED行業還是會向前走，因為LED照明市場前景十分廣闊。”

       最后，杜志游博士表示，無論從技術還是市場角度來說，目前的國產MOCVD設備都已經取得了突破性的進展，各項性能指標都已達到國外同類設備的水平，有些指標還有所超越。現在需要做的，是各行各業包括政府在內共同努力，加一把火，加快設備國產化的進程。中微希望能促進MOCVD設備的國產化，促進國產設備在LED領域的應用，同時也希望通過中微的MOCVD設備來幫助客戶實現更好的生產效率、用更好的產品回報社會。我們作為社會的一份子，也將享受到LED帶給我們的光明。