近日，由北方微電子公司自主研發(fā)的metal Hardmask工藝設(shè)備exiTin H430金屬物理氣相沉積系統(tǒng)正式被國內(nèi)領(lǐng)軍集成電路芯片制造企業(yè)指定為28nm制程baseline機(jī)臺(tái)。28nm集成電路制造技術(shù)是目前國內(nèi)最先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制造技術(shù)，北方微電子PVD設(shè)備被客戶指定為28nm制程工藝的baseline機(jī)臺(tái)，標(biāo)志著國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)能夠完全滿足中國最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)要求，實(shí)現(xiàn)了中國半導(dǎo)體裝備制造技術(shù)的又一個(gè)里程碑式的跨越!

在半導(dǎo)體工藝制造流程里，baseline就是指產(chǎn)品線標(biāo)準(zhǔn)工藝流程，而標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)往往是由標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備來提供的。一臺(tái)性能穩(wěn)定、工藝參數(shù)優(yōu)異的設(shè)備將為整條生產(chǎn)線提供該制程環(huán)節(jié)最優(yōu)質(zhì)的工藝參數(shù)，也是客戶在后續(xù)擴(kuò)充產(chǎn)能時(shí)新設(shè)備購置的參數(shù)風(fēng)向標(biāo)。一般而言，作為baseline的設(shè)備品牌往往會(huì)作為客戶擴(kuò)產(chǎn)時(shí)的首選考慮。

此臺(tái)被國內(nèi)標(biāo)桿客戶認(rèn)定為baseline機(jī)臺(tái)的exiTin H430 HM PVD系統(tǒng)是面向28nm后段大馬士革工藝中硬掩膜層沉積工藝所使用的專用物理氣相沉積設(shè)備。由北方微電子公司自主開發(fā)的該設(shè)備采用單片自動(dòng)工藝，新型濺射源設(shè)計(jì)和全新的輔助磁場(chǎng)發(fā)生裝置等獨(dú)特設(shè)計(jì)，具有成膜均勻性好、應(yīng)力低、操作簡單、占地面積小、運(yùn)行成本低及產(chǎn)能高等特點(diǎn)。僅以工藝腔設(shè)計(jì)為例，其高效的靶材利用率、極佳的厚度和電阻均勻性均優(yōu)于同類國際競(jìng)爭對(duì)手，并同時(shí)可將薄膜應(yīng)力控制在很低的水平。除此之外，還具備高Throughput、低CoO和CoC等特點(diǎn)，給客戶工藝集成提供了非常廣闊的優(yōu)化空間。

exiTin H430 HM PVD設(shè)備于2012年11月進(jìn)入客戶端進(jìn)行驗(yàn)機(jī)，在其后一年多的時(shí)間內(nèi)，該設(shè)備經(jīng)歷了多輪馬拉松可靠性測(cè)試，并于2013年12月底完成了28nm STR技術(shù)評(píng)估。2015年2月，exiTin H430 HM PVD正式通過工藝驗(yàn)證，成為了國內(nèi)首臺(tái)、也是最先進(jìn)的28nm 制程的HM PVD工藝baseline機(jī)臺(tái)。

回顧中國半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展歷程，可謂是一路曲折。從上個(gè)世紀(jì)70年代末期開始，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)經(jīng)歷了一次對(duì)外技術(shù)的引進(jìn)高潮，進(jìn)口了大批的半導(dǎo)體設(shè)備，從那時(shí)起一直到整個(gè)90年代，我國的半導(dǎo)體設(shè)備就一直處于維持和緩慢發(fā)展的狀況。進(jìn)入21世紀(jì)以后，中國的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)才開始有所起色，涌現(xiàn)出了一批優(yōu)秀的國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)，并經(jīng)過十幾年的發(fā)展，逐步能夠滿足客戶先進(jìn)工藝需求，一步步開始縮小與國際競(jìng)爭對(duì)手的差距。但就其發(fā)展過程來看，從最初的樣機(jī)推出到被客戶接受、到被認(rèn)可以及到最終的被客戶所信得過，設(shè)備企業(yè)需經(jīng)歷很長的路去走，絕非一蹴而就。事實(shí)上，目前國內(nèi)也確實(shí)出現(xiàn)了不少專注于各種細(xì)分設(shè)備開發(fā)和研制的本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商，但最終能成功打入市場(chǎng)的品牌卻屈指可數(shù)。在很長一段時(shí)間內(nèi)，國產(chǎn)設(shè)備即便能夠獲得大客戶生產(chǎn)線的準(zhǔn)入資格，也只能以“備份”機(jī)臺(tái)的地位存在，或者只能承擔(dān)非關(guān)鍵的制程工藝，這種尷尬的現(xiàn)狀從根本上導(dǎo)致了國產(chǎn)設(shè)備話語權(quán)不足的現(xiàn)實(shí)，也無法提升整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的綜合競(jìng)爭力。在近半個(gè)世紀(jì)來形成的已被國際設(shè)備大廠(每種細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域也只有兩三家國際廠商能真正獲得市場(chǎng)的垂青)牢牢把控住的中國半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中， 國產(chǎn)設(shè)備一直處于 “陰影”下生存的狀態(tài)，搶灘市場(chǎng)，從既有市場(chǎng)占有者處分一杯羹，甚至挑戰(zhàn)市場(chǎng)領(lǐng)先者的話語權(quán)地位——國產(chǎn)設(shè)備商任重道遠(yuǎn)，除了環(huán)境、時(shí)間、資金和人才外，還需要中國的半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者太多的決心、信心和耐心!

IC芯片是國家信息安全的基石，半導(dǎo)體設(shè)備則是IC產(chǎn)業(yè)核心中的核心。中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)不僅要做大，還要做強(qiáng)，才能從根本上擺脫受制于人的困境。在這種歷史使命下誕生的第一臺(tái)被半導(dǎo)體制造龍頭業(yè)者認(rèn)定為產(chǎn)品線baseline的國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備，對(duì)國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的優(yōu)化與提升有著極其重要的戰(zhàn)略和現(xiàn)實(shí)意義，意味著中國本土設(shè)備商真正打破了國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭長期以來的寡頭壟斷，也意味著中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈綜合競(jìng)爭力的全線提升已曙光初現(xiàn)。