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       2015年3月27日10時58分，由北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米NMC612系列高密度等離子硅刻蝕機正式安裝，再次進入國內(nèi)最先進的集成電路芯片代工企業(yè)——中芯國際，進一步加快了集成電路高端微電子裝備的國產(chǎn)化進程。

       北方微電子研制的NMC612系列28nm高密度等離子硅刻蝕機于2012年9月進入中芯國際上海廠，與客戶TD部門同步進行28nm工藝開發(fā)，工藝結(jié)果達到生產(chǎn)線技術(shù)要求，通過中芯國際生產(chǎn)線全流程工藝驗證。同時，北方微電子NMC612系列55nm刻蝕機也在中芯國際北京廠批量生產(chǎn)，設(shè)備無論在工藝性能還是在穩(wěn)定性方面均滿足國際大生產(chǎn)線的要求。 2015年3月，NMC612C 28nm高密度等離子硅刻蝕機正式進入中芯國際北京廠，成為了國內(nèi)首臺進入主流大生產(chǎn)線的28nm硅刻蝕機。

       28nm集成電路制造技術(shù)是目前國內(nèi)最先進的半導(dǎo)體工藝制造技術(shù)，作為中國自主開發(fā)集成電路高端制造裝備的先行者，北方微電子28納米等離子硅刻蝕機，突破了精密等離子體控制、硅片表面溫度精確控制、高氣流均勻控制等多項關(guān)鍵技術(shù)，以全新的硬件設(shè)計達到了高速率、高均勻性、低損傷和低缺陷、精確尺寸和形貌控制、低顆粒污染等要求，多項關(guān)鍵指標達到國際先進水平。除此之外，設(shè)備還具有高的Throughput、低CoO和CoC等特點，給客戶廣闊的優(yōu)化空間。

       北方微電子是一家專注于高端半導(dǎo)體裝備研發(fā)與市場化的高新技術(shù)企業(yè)，通過國家專項的實施和北方微電子的不斷耕耘，在集成電路產(chǎn)業(yè)成績卓著。北方微電子開發(fā)的刻蝕、PVD和CVD高端裝備，都以其優(yōu)異的工藝性能、低的設(shè)備擁有成本及完善的客戶服務(wù)打破了國際半導(dǎo)體設(shè)備商長期的寡頭壟斷，并獲得了客戶的高度好評。北方微電子將通過不斷地技術(shù)創(chuàng)新，與集成電路芯片企業(yè)協(xié)同發(fā)展，共同迎接集成電路國產(chǎn)化大時代!