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       2015年3月27日10時58分，由北方微電子公司自主研發的12英寸28納米NMC612系列高密度等離子硅刻蝕機正式安裝，再次進入國內最先進的集成電路芯片代工企業——中芯國際，進一步加快了集成電路高端微電子裝備的國產化進程。

       北方微電子研制的NMC612系列28nm高密度等離子硅刻蝕機于2012年9月進入中芯國際上海廠，與客戶TD部門同步進行28nm工藝開發，工藝結果達到生產線技術要求，通過中芯國際生產線全流程工藝驗證。同時，北方微電子NMC612系列55nm刻蝕機也在中芯國際北京廠批量生產，設備無論在工藝性能還是在穩定性方面均滿足國際大生產線的要求。 2015年3月，NMC612C 28nm高密度等離子硅刻蝕機正式進入中芯國際北京廠，成為了國內首臺進入主流大生產線的28nm硅刻蝕機。

       28nm集成電路制造技術是目前國內最先進的半導體工藝制造技術，作為中國自主開發集成電路高端制造裝備的先行者，北方微電子28納米等離子硅刻蝕機，突破了精密等離子體控制、硅片表面溫度精確控制、高氣流均勻控制等多項關鍵技術，以全新的硬件設計達到了高速率、高均勻性、低損傷和低缺陷、精確尺寸和形貌控制、低顆粒污染等要求，多項關鍵指標達到國際先進水平。除此之外，設備還具有高的Throughput、低CoO和CoC等特點，給客戶廣闊的優化空間。

       北方微電子是一家專注于高端半導體裝備研發與市場化的高新技術企業，通過國家專項的實施和北方微電子的不斷耕耘，在集成電路產業成績卓著。北方微電子開發的刻蝕、PVD和CVD高端裝備，都以其優異的工藝性能、低的設備擁有成本及完善的客戶服務打破了國際半導體設備商長期的寡頭壟斷，并獲得了客戶的高度好評。北方微電子將通過不斷地技術創新，與集成電路芯片企業協同發展，共同迎接集成電路國產化大時代!