2017年11月22日,北方華創(41.11 -4.22%,診股)下屬子公司北京北方華創微電子裝備有限公司自主研發的國內首臺8英寸金屬刻蝕設備Move in中國最大代工廠生產線,為國產高端裝備在國內集成電路芯片生產線的應用再添新秀,是國產高端裝備應用工藝的又一次重要突破。
北方華創微電子本次推出的產品為NMC508M metal Etch設備,應用于8英寸0.13um及以下技術代Al金屬刻蝕工藝。Al金屬刻蝕是集成電路制程中的一道重要工藝步驟,廣泛用于存儲器及邏輯產品中。NMC508M metal Etch設備是北方華創微電子基于多年在集成電路刻蝕設備技術積累基礎上,針對終端用戶的需求進行了設備的深度定制開發,在8英寸傳統刻蝕技術基礎上集成應用了多項12英寸刻蝕設備的先進技術,關鍵技術指標達到國際先進水平。
NMC508M metal Etch設備Move in國內主流芯片制造企業是北方華創微電子在市場拓展中取得的又一個重要成績,標志著國產設備打破了國際設備廠商的壟斷,改變了近年來8英寸金屬刻蝕機一機難求的艱難局面。同時,國產金屬刻蝕設備國產化應用,不僅有利于降低芯片生產企業設備采購成本,而且能使國內芯片企業能獲得國內設備廠商的更優質和便捷的技術服務。
到目前為止,北方華創微電子已陸續開發出硅刻蝕機、擴散爐、金屬刻蝕機等8英寸集成電路工藝設備,在國內生產線開始了批量應用。北方華創微電子將以客戶需求為導向,進行持續的技術和產品創新,不斷為國內集成電路產業提供更優質的裝備解決方案。
