2017年11月1日-3日，第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2017）暨 2017 國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS 2017）在北京順義隆重召開(kāi)。論壇由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、北京市順義區(qū)人民政府主辦，中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會(huì)、北京半導(dǎo)體照明科技促進(jìn)中心和北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。論壇同時(shí)得到了科技部、發(fā)改委、國(guó)標(biāo)委和北京市科委等主管部門(mén)的大力支持。

 

　　11月2日下午，SSLCHINA 2017之材料與裝備技術(shù)分會(huì)如期舉行。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司、維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易（上海）有限公司為本次分會(huì)提供了協(xié)辦支持。

 

　　美國(guó)密歇根大學(xué)教授Pei-Cheng KU，挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN，北京大學(xué)教授陳志忠、南昌大學(xué)教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術(shù)員胡建正、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)，德國(guó)愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司副總裁Michael HEUKEN、美國(guó)維易科精密儀器有限公司市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)總監(jiān)Mark MCKEE等來(lái)自中外的強(qiáng)勢(shì)力量聯(lián)袂帶來(lái)精彩報(bào)告。中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜，河北工業(yè)大學(xué)教授畢文剛共同主持了本次分會(huì)。

 

　　會(huì)上，北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)介紹了LED工業(yè)中的干法刻蝕工藝技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備。劉利堅(jiān)長(zhǎng)期以來(lái)從事高端微電子裝備設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)工作，對(duì)于等離子體刻蝕和PECVD設(shè)備的硬件設(shè)計(jì)和工藝應(yīng)用有豐富經(jīng)驗(yàn)。劉利堅(jiān)介紹了等離子刻蝕的一些技術(shù)問(wèn)題，并具體分享了幾種刻蝕工藝技術(shù)難點(diǎn)、解決方式，以及北方華創(chuàng)在相關(guān)工藝方面取得研究成果。

 

　　其中，分析了LED領(lǐng)域會(huì)用到幾種典型刻蝕結(jié)果的剖面，劉利堅(jiān)表示，從分類(lèi)上來(lái)講，LED用的絕大部分刻蝕都屬于增加離子的這種結(jié)構(gòu)。他同時(shí)介紹了北方華創(chuàng)在LED領(lǐng)域所做一些刻蝕工作，以及一些常見(jiàn)缺陷的處理及解決方案等。

 

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