在國(guó)產(chǎn)替代、新技術(shù)需求的驅(qū)動(dòng)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)正處在產(chǎn)能加速擴(kuò)張中。2017－2020年，全球正在建設(shè)和擬建設(shè)的晶圓線有62條，其中中國(guó)大陸有26條，占比42％。預(yù)計(jì)2020年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售將達(dá)到145億美元，成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。

作為一個(gè)大而精的行業(yè)，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)也已經(jīng)呈現(xiàn)出高度集中的市場(chǎng)格局，應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林半導(dǎo)體、科磊半導(dǎo)體2019年牢牢占據(jù)了全球前五的位置。盡管市場(chǎng)的頭部效應(yīng)明顯，在芯片制造、封測(cè)所涉及到的上千道加工工序中，包括晶圓檢測(cè)在內(nèi)的多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域仍存在新玩家入局的機(jī)會(huì)。

2020年6月22日，科創(chuàng)板上市公司天準(zhǔn)科技發(fā)布公告將以1818萬(wàn)歐元（約合1．4億人民幣）的價(jià)格收購(gòu)德國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備研發(fā)商MueTec100％股權(quán)，并受讓該公司200萬(wàn)歐元債務(wù)，這也讓整個(gè)交易的價(jià)格達(dá)到2018萬(wàn)歐元（約合1．6億元人民幣）。

此次收購(gòu)也是科創(chuàng)板首個(gè)海外并購(gòu)案例。據(jù)了解，目前交易已獲蘇州發(fā)改委和商務(wù)局的同意，雙方已經(jīng)完成了24．9％的股權(quán)交割，后續(xù)獲得德國(guó)相關(guān)政府機(jī)構(gòu)的審批后，雙方將交割其余75．1％的股權(quán)。

對(duì)于天準(zhǔn)科技來(lái)說(shuō)，對(duì)MueTec的收購(gòu)將幫助公司縮短進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域的周期，減少不確定性，更快地為公司形成新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)。同時(shí)，這次收購(gòu)也是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)加速發(fā)展的縮影。

以并購(gòu)進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，標(biāo)的公司MueTec已進(jìn)入全球市場(chǎng)

天準(zhǔn)科技的主業(yè)為工業(yè)機(jī)器視覺(jué)裝備研發(fā)及應(yīng)用，此次選擇以并購(gòu)的方式進(jìn)入半導(dǎo)體行業(yè)并不偶然。事實(shí)上，并購(gòu)整合在整個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)是較普遍的發(fā)展模式。回顧半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)并購(gòu)史，應(yīng)用材料和科磊半導(dǎo)體發(fā)展過(guò)程中的收購(gòu)次數(shù)都在20次以上。

究其原因，行業(yè)的高壁壘屬性意味著研發(fā)上的高難度，并購(gòu)成為一種迅速更新技術(shù)的途徑。同時(shí)，在市場(chǎng)增速放緩時(shí)，并購(gòu)也成為拓展產(chǎn)品線、擴(kuò)大市場(chǎng)空間的有效方式。尤其對(duì)于首次進(jìn)入半導(dǎo)體行業(yè)的企業(yè)來(lái)說(shuō)，由于在相關(guān)技術(shù)、市場(chǎng)方面缺乏積累，并購(gòu)等外延式發(fā)展模式成為進(jìn)入半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的捷徑。

早在天準(zhǔn)科技收購(gòu)MueTec之前，顯示檢測(cè)行業(yè)的龍頭公司精測(cè)電子就先后在2018年、2019年，分別通過(guò)與半導(dǎo)體自動(dòng)測(cè)試設(shè)備韓國(guó)IT＆T共同設(shè)立中外合資公司、收購(gòu)日本半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備企業(yè)WINTEST60．53％的股權(quán)的方式來(lái)進(jìn)入半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。

以全球視角看，半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的被收購(gòu)標(biāo)的呈現(xiàn)出明顯的地域特征。廣發(fā)證券在其2018年發(fā)布的研究報(bào)告《全球半導(dǎo)體設(shè)備并購(gòu)史研究——以史為鏡，可以知興替》中表示，從1995年到2018年，全球半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的并購(gòu)以美國(guó)為核心，向歐洲和日本擴(kuò)散。報(bào)告指出，在87次并購(gòu)中有85次被收購(gòu)方的國(guó)別或地區(qū)可查，其中美國(guó)有56家美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)或業(yè)務(wù)部門被收購(gòu)，歐洲公司有16家，主要分布在德國(guó)、瑞士和英國(guó)。美國(guó)作為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的先行者，毫無(wú)疑問(wèn)成為并購(gòu)標(biāo)的集中區(qū)域，而歐洲、日本也不斷涌現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)。

此次被天準(zhǔn)科技收購(gòu)的MueTec即是一家德國(guó)企業(yè)。該公司的創(chuàng)始人由光學(xué)、軟件開(kāi)發(fā)和機(jī)械領(lǐng)域的專家組成，于1991年在德國(guó)慕尼黑成立。

集成電路由于高精密、高附加值的特點(diǎn)，要求芯片制作過(guò)程中采用無(wú)損檢測(cè)，因此對(duì)非接觸式的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備成為剛需。MueTec則主要針對(duì)晶圓類產(chǎn)品提供高精度光學(xué)檢測(cè)和測(cè)量設(shè)備，服務(wù)區(qū)域涵蓋歐洲、美國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣等半導(dǎo)體設(shè)備主流市場(chǎng)。

目前MueTec的產(chǎn)品包括：

1） 測(cè)量和檢測(cè)類：關(guān)鍵尺寸測(cè)量（CD Metrology），套刻測(cè)量（Overlay Metrology），瑕疵缺陷檢測(cè)，瑕疵缺陷查看，薄膜厚度測(cè)量。代表設(shè)備為Spector A，MT8000等。

2） 紅外解決方案：應(yīng)用于MEMS領(lǐng)域，可以通過(guò)測(cè)量數(shù)據(jù)分析，修改工藝，輔助提升生產(chǎn)良率。代表設(shè)備為IRIS2100，IRIS8200。

3） 宏觀缺陷檢測(cè)方案：提供在光刻階段的晶圓全檢需求，代表設(shè)備為MT1000。

4） 定制方案：可提供市面上目前還沒(méi)有可用設(shè)備的檢測(cè)和測(cè)量需求定制，比如，全自動(dòng)的檢測(cè)設(shè)備，定制的搬運(yùn)系統(tǒng)。

2019年科磊半導(dǎo)體（KLA）在全球范圍內(nèi)的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備上占比超過(guò)50％，其余市場(chǎng)則多由美國(guó)、日本、以色列以及一些歐洲國(guó)家的廠商占據(jù)。國(guó)內(nèi)在該領(lǐng)域起步較晚。2014年，與中科院微電子研究所深入合作的中科飛測(cè)成立，國(guó)內(nèi)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域逐漸發(fā)展起來(lái)。

據(jù)了解，MueTec的產(chǎn)品與國(guó)內(nèi)同行中科飛測(cè)對(duì)比，在設(shè)備穩(wěn)定性、壽命等指標(biāo)上更突出，且在國(guó)外市場(chǎng)有更高的認(rèn)可度，不過(guò)售價(jià)更高、開(kāi)發(fā)周期長(zhǎng)；而跟國(guó)際同行以色列光學(xué)檢測(cè)設(shè)備公司CamTek對(duì)比，MueTec有更廣的產(chǎn)品線，以及獨(dú)立的2D測(cè)量和膜厚測(cè)量。

在基于行業(yè)、產(chǎn)品以及技術(shù)等多維度考量下，天準(zhǔn)科技收購(gòu)MueTec100％股權(quán)的交易價(jià)格定在了1818萬(wàn)歐元，是MueTec2019年凈資產(chǎn)的2．50倍、2020年預(yù)計(jì)EBITDA的10．26倍。

收購(gòu)MueTec，天準(zhǔn)科技面臨的巨大行業(yè)機(jī)遇

天準(zhǔn)科技是2019年首批成功登陸科創(chuàng)板的公司之一。其成立于2009年，主要基于機(jī)器視覺(jué)技術(shù)，研發(fā)生產(chǎn)工業(yè)視覺(jué)裝備。公司的產(chǎn)品包括精密測(cè)量?jī)x器、智能檢測(cè)設(shè)備、智能制造系統(tǒng)、無(wú)人物流車，并提供智能檢測(cè)裝備和智能制造系統(tǒng)相關(guān)的軟件服務(wù)?，F(xiàn)階段，公司的客戶群集中在消費(fèi)電子、汽車制造、光伏半導(dǎo)體、倉(cāng)儲(chǔ)物流行業(yè)，大客戶包括蘋果、三星、富士康、欣旺達(dá)、德賽集團(tuán)、博士集團(tuán)、法雷奧集團(tuán)、菜鳥(niǎo)物流等。

隨著在消費(fèi)電子、汽車等領(lǐng)域的行業(yè)地位逐漸穩(wěn)固，天準(zhǔn)科技亟需找到新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)。而天準(zhǔn)科技之所以能將3D視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)率先在消費(fèi)電子、汽車制造等領(lǐng)域落地，離不開(kāi)這些領(lǐng)域的共同特點(diǎn)：客戶對(duì)價(jià)格的不敏感，但對(duì)設(shè)備精度、準(zhǔn)確度等要求高；同時(shí)，大客戶集中，客單價(jià)往往達(dá)百萬(wàn)級(jí)。此次被收購(gòu)標(biāo)的MueTec所在的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域毫無(wú)疑問(wèn)符合相應(yīng)條件。

其實(shí)在收購(gòu)MueTec之前，天準(zhǔn)科技已經(jīng)在著手研發(fā)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備，對(duì)于MueTec的收購(gòu)將加快公司在半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備上的布局。

2020上半年天準(zhǔn)科技半導(dǎo)體相關(guān)在研項(xiàng)目情況（萬(wàn)元）

迄今為止，MueTec累計(jì)設(shè)備出貨量已達(dá)數(shù)百臺(tái)。其在技術(shù)、產(chǎn)品以及市場(chǎng)等多個(gè)環(huán)節(jié)已形成較成熟的經(jīng)驗(yàn)，將幫助天準(zhǔn)科技快速具備服務(wù)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的能力。

在當(dāng)前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備自主化發(fā)展的大趨勢(shì)下，此次并購(gòu)對(duì)于兩者都意味著廣闊的市場(chǎng)前景。一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體制造設(shè)備支出占半導(dǎo)體設(shè)備總支出的80％左右，MueTec所在的前道半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備約占半導(dǎo)體制造設(shè)備的13％。全球市場(chǎng)上，前道檢測(cè)設(shè)備2018年的市場(chǎng)規(guī)模約為58億美元。根據(jù)SEMI曾預(yù)測(cè)的2020、2021年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備總支出分別為173億、166億美元，得以估算2020、2021年國(guó)內(nèi)前道檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)需求約為18億、17．3億美元。而每臺(tái)晶圓檢測(cè)設(shè)備普遍在百萬(wàn)美金以上的售價(jià)，也為設(shè)備廠商創(chuàng)造了更高的收入天花板。

芯片是“國(guó)之重器”，但當(dāng)下我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)多個(gè)環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)化程度普遍偏低。尤其是設(shè)備、材料、EDA軟件工具在內(nèi)的多個(gè)上游環(huán)節(jié)，短期內(nèi)難以實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展。不過(guò)，正是由于現(xiàn)狀與需求的不匹配，價(jià)值創(chuàng)造的機(jī)會(huì)正在顯現(xiàn)。有理由相信，在需求的高增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)下，類似天準(zhǔn)科技收購(gòu)MueTec的案例可能再度發(fā)生。而隨著各類資源的不斷投入，我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主可控的進(jìn)程也有望加快。