據(jù)etnews報(bào)道，除氟化氫外，韓國(guó)的高純度氯化氫（HCL）有望實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。預(yù)計(jì)這將大幅降低韓國(guó)對(duì)進(jìn)口原材料的依賴(lài)程度，同時(shí)將加強(qiáng)本地半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈。
據(jù)業(yè)界8日稱(chēng)，韓國(guó)化學(xué)企業(yè)PKC CHEMICAL&BIOTECH將和三星電子一起制備高純度氯化氫。目前，三星正為適用批量生產(chǎn)線進(jìn)行質(zhì)量評(píng)估，最快將于今年上半年決定是否可行。
氯化氫氣體的用途廣泛，是集成電路制造過(guò)程中蝕刻、鈍化、外延等工藝的重要原料。隨著高性能芯片需求的增加，其用量也同步上升。
報(bào)道稱(chēng)，三星電子的氯化氫需求占據(jù)韓國(guó)整體需求的80%左右。長(zhǎng)期以來(lái)，韓國(guó)的高純度氯化氫主要依賴(lài)于海外。
在這一領(lǐng)域中，日本東亞合成株式會(huì)社（(TOAGOSEI CO.LTD)和德國(guó)林德集團(tuán)(Linde Group)形成寡頭壟斷。盡管韓國(guó)企業(yè)早前曾做過(guò)嘗試，但鑒于產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題，未能對(duì)海外降低依賴(lài)。但在日本收緊出口管制后，韓國(guó)供應(yīng)鏈重組成為業(yè)界的一個(gè)熱門(mén)話(huà)題，國(guó)產(chǎn)化勢(shì)在必行。
據(jù)報(bào)道，三星電子與PKC之間的合作迅速升華，甚至完成了生產(chǎn)準(zhǔn)備工作。
PKC有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“我們正在接受三星電子的質(zhì)量評(píng)估。雖然要看最終結(jié)果，但我們已經(jīng)做好了量產(chǎn)、供應(yīng)的準(zhǔn)備。”
2019年7月，日本政府正式啟動(dòng)針對(duì)韓國(guó)的三種半導(dǎo)體材料的出口管制。自那之后，韓國(guó)持續(xù)推進(jìn)核心半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)化。除氟化氫，及用于EUV的光刻膠和聚酰亞胺氟化物外，日本管制令還促進(jìn)了韓國(guó)材料、零件和設(shè)備等各領(lǐng)域的多樣化和國(guó)產(chǎn)化。
韓國(guó)半導(dǎo)體材料行業(yè)的一位高級(jí)官員表示： “同日本的緊張關(guān)系仍然存在，因此，半導(dǎo)體業(yè)界的供需多樣化和加強(qiáng)供應(yīng)鏈仍是重要話(huà)題。國(guó)產(chǎn)化的目標(biāo)并非是頭腦一熱，而將會(huì)持續(xù)不斷地推進(jìn)，有可能會(huì)成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的契機(jī)。”
