近日，第七屆國際第三代半導體論壇暨第十八屆中國國際半導體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2021）在深圳成功召開。在“SSLCHINA 2021：Mini/Micro-LED技術產業應用論壇”上，由廣東中民工業技術創新研究院有限公司、中微半導體設備（上海）股份有限公司、佛山市國星光電股份有限公司 、北京康美特科技股份有限公司聯合協辦支持。福州大學嚴群教授和南京大學電子科學與工程學院副院長劉斌教授主持該分會。
會上，中微半導體設備（上海）股份有限公司MOCVD工藝技術總監胡建正分享了“中微Prismo UniMax® - 用于藍綠光mini-LED生產的MOCVD新型裝備”最新進展。
胡建正介紹，Mini/micro-LEDs在高端顯示應用方面具有高對比度、高動態范圍、輕薄、低能耗等優點，近年來正受到越來越多的關注。中微公司開發的 Prismo 系列MOCVD設備可廣泛應用于生產基于III族氮化物的各類器件，包括藍綠光LED、深紫外LED以及功率器件。與用于照明的傳統LED相比，mini/micro-LED對外延片的波長均勻性和顆粒數量有更嚴苛的要求。需要開發新型MOCVD平臺以提高外延片的波長均勻性、降低顆粒數量，從而實現mini/micro-LED的商業化應用。
目前，中微最新開發的可用于mini-LED生產的MOCVD 平臺 - Prismo UniMax®, 通過局部溫場精細調控與流場的優化，在4”和6”襯底上生長的藍綠光LED實現了極好的波長均勻性。在41×4” 配置條件下，得到了極好的藍光LED片內和片間波長均勻性，分別為0.71 nm和0.87 nm（1σ）；在10×6” 配置條件下，其藍光LED片內波長均勻性達到0.84 nm （1σ），100mm×100mm方片波長最大最小差值低至2.4 nm。對于平均波長為530nm的6寸綠光LED，實現了片內波長均勻性1.04 nm（1σ），100mm×100mm方片波長最大最小差值僅為4.6nm。此外，Prismo UniMax®在LED生產中，還可以實現優越的整體波長良率和爐與爐的重復性。同時，會上還講解了更多細節設備及工藝細節。
