近日，第七屆國際第三代半導(dǎo)體論壇暨第十八屆中國國際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2021）在深圳成功召開。在“SSLCHINA 2021：Mini/Micro-LED技術(shù)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用論壇”上，由廣東中民工業(yè)技術(shù)創(chuàng)新研究院有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、佛山市國星光電股份有限公司 、北京康美特科技股份有限公司聯(lián)合協(xié)辦支持。福州大學(xué)嚴(yán)群教授和南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院副院長劉斌教授主持該分會。
會上，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司MOCVD工藝技術(shù)總監(jiān)胡建正分享了“中微Prismo UniMax® - 用于藍(lán)綠光mini-LED生產(chǎn)的MOCVD新型裝備”最新進(jìn)展。
胡建正介紹，Mini/micro-LEDs在高端顯示應(yīng)用方面具有高對比度、高動態(tài)范圍、輕薄、低能耗等優(yōu)點(diǎn)，近年來正受到越來越多的關(guān)注。中微公司開發(fā)的 Prismo 系列MOCVD設(shè)備可廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)基于III族氮化物的各類器件，包括藍(lán)綠光LED、深紫外LED以及功率器件。與用于照明的傳統(tǒng)LED相比，mini/micro-LED對外延片的波長均勻性和顆粒數(shù)量有更嚴(yán)苛的要求。需要開發(fā)新型MOCVD平臺以提高外延片的波長均勻性、降低顆粒數(shù)量，從而實(shí)現(xiàn)mini/micro-LED的商業(yè)化應(yīng)用。
目前，中微最新開發(fā)的可用于mini-LED生產(chǎn)的MOCVD 平臺 - Prismo UniMax®, 通過局部溫場精細(xì)調(diào)控與流場的優(yōu)化，在4”和6”襯底上生長的藍(lán)綠光LED實(shí)現(xiàn)了極好的波長均勻性。在41×4” 配置條件下，得到了極好的藍(lán)光LED片內(nèi)和片間波長均勻性，分別為0.71 nm和0.87 nm（1σ）；在10×6” 配置條件下，其藍(lán)光LED片內(nèi)波長均勻性達(dá)到0.84 nm （1σ），100mm×100mm方片波長最大最小差值低至2.4 nm。對于平均波長為530nm的6寸綠光LED，實(shí)現(xiàn)了片內(nèi)波長均勻性1.04 nm（1σ），100mm×100mm方片波長最大最小差值僅為4.6nm。此外，Prismo UniMax®在LED生產(chǎn)中，還可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)越的整體波長良率和爐與爐的重復(fù)性。同時，會上還講解了更多細(xì)節(jié)設(shè)備及工藝細(xì)節(jié)。
