據(jù)韓媒報道，德國默克公司將開始在韓國生產(chǎn)化學機械拋光 (CMP) 漿料，預(yù)計將于2022年上半年開始交付。
據(jù)韓媒梳理，此前默克已經(jīng)在京畿道平澤市建設(shè)了CMP漿料生產(chǎn)線。
默克還準備在韓國生產(chǎn)極紫外 (EUV) 光刻工藝所需沖洗液。該產(chǎn)品在 EUV 曝光過程后起到去除殘留物的作用。
韓媒稱，默克于 2019 年收購的 Versum Materials 也計劃擴大韓國半導(dǎo)體市場業(yè)務(wù)，該公司向三星電子等企業(yè)供應(yīng)雙重微影技術(shù) (DPT) 材料，目前三星電子大約一半的 DPT 材料依賴 Versum Materials。
