成果名稱：采用MOCVD制備的銻化物紅外探測器

成果來源：蘇州納米技術與納米仿生研究所

成果介紹：

成果（項目）簡介銻化物超晶格紅外探測器主要用于紅外成像，氣體探測，目標識別，資源探測等領域。本項目采用工業界主流的III-V半導體制備技術金屬有機物化學氣相沉積MOCVD生產InAs/GaSb 超晶格探測器，并建立了從器件設計-材料外延-芯片制造的成熟鏈條，可提供高性能中波、長波、雙色的外延片和芯片。成果（項目）創新性/主要優勢/知識產權布局 

世界上唯一一家采用MOCVD制備高性能銻化物超晶格的團隊，在器件性能、產能、成本上都優于分子束外延MBE制備的器件。MOCVD使用的原料包括襯底和MO源完全國產化。目前擁有10多項發明專利。 

技術成熟度：暫無

來源：中國科學院知識產權與科技成果轉化網