經(jīng)上海市經(jīng)濟和信息化委員會組織專家評審和上海市復(fù)審，SMEE(上海微電子裝備有限公司)等11家企業(yè)被認定為2013-2014年度上海市集成電路高端裝備制造企業(yè)。

       SMEE(上海微電子裝備有限公司)成立于2002年，主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于IC制造與先進封裝、MEMS、3D-TSV、TFT-OLED、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。