北京中科優(yōu)唯科技有限公司（以下簡稱“中科優(yōu)唯”）是在與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所合作基礎(chǔ)上于2015年2月組建的高新技術(shù)企業(yè)，專注于深紫外（300nm以下）LED的產(chǎn)業(yè)化。針對(duì)深紫外氮化物外延生長設(shè)備、深紫外LED的外延工藝和器件工藝，為客戶提供能夠充分發(fā)揮深紫外LED性能的材料和器件。
近日，該公司宣布在深紫外UV設(shè)備和工藝方面取得突破性進(jìn)展。
據(jù)悉，中科優(yōu)唯研發(fā)出的專門用于深紫外LED的7片機(jī)和48片機(jī)型，生長溫度高達(dá)1400℃以上，加熱絲具有很好的壽命；生長壓力30torr到常壓連續(xù)可調(diào)；頂盤實(shí)現(xiàn)水冷噴淋式均勻進(jìn)氣，均勻性優(yōu)于1%，有限元仿真模擬熱場、流場可滿足客戶需求。
其開發(fā)出的深紫外LED基礎(chǔ)材料AlN緩沖層的基礎(chǔ)工藝生長速率為1um/h時(shí)，在7片機(jī)和48片機(jī)上獲得滿足深紫外LED生長的XRD搖擺曲線半高寬，（002）最低達(dá)到30弧秒，（102）已小于500弧秒。
其初步制作的280nm附近深紫外LED已實(shí)現(xiàn)電注入發(fā)光，發(fā)光功率大于1mw。
“從目前進(jìn)展來看，我們有望實(shí)現(xiàn)批量設(shè)備上280nm以下深紫外LED的材料生長，并結(jié)合器件工藝實(shí)現(xiàn)規(guī)模化深紫外LED的技術(shù)突破，為深紫外LED降低成本，規(guī)模應(yīng)用解決生產(chǎn)設(shè)備和成套工藝的技術(shù)瓶頸。”公司高管對(duì)記者表示。
目前紫外LED光源主要用于紫外光固化、防偽檢測、醫(yī)學(xué)光照、熒光分析、藥物研發(fā)、空氣和水凈化等領(lǐng)域。
“未來白色家電將是使用深紫外LED消毒應(yīng)用的一大新領(lǐng)域，電冰箱、洗衣機(jī)、空調(diào)機(jī)、空氣凈化器、飲水機(jī)等產(chǎn)品都有使用小型消毒器的需求，各大廠家都在尋找適合的產(chǎn)品，紫外LED具有體積小、設(shè)計(jì)方便、沒有污染等特點(diǎn)，十分適合在白色家電中應(yīng)用。”公司高管告訴記者。
2014年，我國電冰箱、洗衣機(jī)、空調(diào)、空氣凈化器、飲水機(jī)的產(chǎn)品分別為8796萬臺(tái)、7114萬臺(tái)、14463萬臺(tái)、1025萬臺(tái)和1785萬臺(tái)，合計(jì)33,183萬臺(tái)。“如果每臺(tái)產(chǎn)品增加紫外LED消毒功能，成本僅僅增加50-100元，家電廠家是非常樂于接受的。這樣，全國白色家電領(lǐng)域可增加150-300億的紫外LED消毒產(chǎn)品市場，全球白家電可增加300-600億人民幣的紫外LED消毒產(chǎn)品市場。”該高管說。
“中科優(yōu)唯將以目前所具有的高溫氮化物MOCVD的研發(fā)及生產(chǎn)技術(shù)、深紫外LED外延芯片的加工工藝為基礎(chǔ)，進(jìn)行深紫外 UV LED外延芯片的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，通過不斷提高產(chǎn)量和降低市場售價(jià)逐步打開深紫外LED消毒模塊在白色家電領(lǐng)域的應(yīng)用，擴(kuò)大公司的市場規(guī)模。”該高管表示。
