氮化鎵是一種寬能隙材料,它能夠提供與碳化硅(SiC)相似的性能優(yōu)勢,但降低成本的可能性卻更大。業(yè)界認(rèn)為,在未來數(shù)年間,氮化鎵功率器件的成本可望壓低到和硅MOSFET、IGBT及整流器同等價(jià)格。
氮化鎵電力電子器件具有更高的工作電壓、更高的開關(guān)頻率、更低的導(dǎo)通電阻等優(yōu)勢,并可與成本極低、技術(shù)成熟度極高的硅基半導(dǎo)體集成電路工藝相兼容,在新一代高效率、小尺寸的電力轉(zhuǎn)換與管理系統(tǒng)、電動機(jī)車、工業(yè)電機(jī)等領(lǐng)域具有巨大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
由于對高速、高溫和大功率半導(dǎo)體器件需求的不斷增長,使得半導(dǎo)體業(yè)重新考慮半導(dǎo)體所用設(shè)計(jì)和材料。隨著多種更快、更小計(jì)算器件的不斷涌現(xiàn),硅材料已難以維持摩爾定律。由于氮化鎵材料所具有的獨(dú)特優(yōu)勢,如噪聲系數(shù)優(yōu)良、最大電流高、擊穿電壓高、振蕩頻率高等,為多種應(yīng)用提供了獨(dú)特的選擇,如軍事、宇航和國防、汽車領(lǐng)域,以及工業(yè)、太陽能、發(fā)電和風(fēng)力等高功率領(lǐng)域。
由于氮化鎵光電半導(dǎo)體在軍事、宇航、國防和消費(fèi)電子的使用,使得光電半導(dǎo)體成為全球氮化鎵半導(dǎo)體器件市場的主要產(chǎn)品類型,并占據(jù)絕對優(yōu)勢地位。其中功率半導(dǎo)體器件將隨著工業(yè)應(yīng)用對大功率器件需求的增長成為未來增長速度最快的器件。

對于GaN的功率器件發(fā)展而言,市場需求牽引力至關(guān)重要。從(2020年將支配市場的)電源和PFC(功率因數(shù)校正)領(lǐng)域,到UPS(不間斷電源)和馬達(dá)驅(qū)動,很多應(yīng)用領(lǐng)域都將從GaN-on-Si功率器件的特性中受益。
市場調(diào)查公司Yole Developpement)認(rèn)為,除了這些應(yīng)用,2020年以后純電動汽車(EV)和混合動力汽車(HEV)也將開始采用這些新材料和新器件。市場規(guī)模方面,2020年GaN器件市場整體規(guī)模有可能達(dá)到約6億美元。屆時(shí),一塊6英寸晶圓可加工出大約58萬個(gè)GaN。按照EV和HEV從2018年或2019年開始采用GaN的設(shè)想來看,GaN器件的數(shù)量將從2016年開始顯著增加,一直到2020年都將以80%的年均增長率(CAGR)增長。
再隨著5G技術(shù)的逐漸成熟,帶給射頻前端(RF Front End)晶片市場商機(jī),未來射頻功率放大器(RF PA)需求將持續(xù)成長,其中傳統(tǒng)金屬氧化半導(dǎo)體(Laterally Diffused metal Oxide Semiconductor,LDMOS;LDMOS具備低成本和大功率性能優(yōu)勢)制程逐步被氮化鎵(Gallium Nitride,GaN)取代,尤其在5G技術(shù)下需要支援更多元件、更高頻率,另砷化鎵(GaAs)則相對穩(wěn)定成長。透過導(dǎo)入新的射頻技術(shù),RF PA將以新的制程技術(shù)實(shí)現(xiàn),其中GaN的RF PA將成為輸出功率3W以上的主流制程技術(shù),LDMOS市占率則逐漸降低。
因?yàn)?G技術(shù)涵蓋毫米波頻率和大規(guī)模MIMO(Multi-Input Multi-Output)天線運(yùn)用,以實(shí)現(xiàn)5G無線整合及架構(gòu)上的突破,未來如何大規(guī)模采用Massive-MIMO及毫米波(mmWave)回程系統(tǒng)將是發(fā)展關(guān)鍵。由于5G頻率高,因此對于高功率、高性能、高密度的射頻元件需求增加,其中氮化鎵(GaN)符合其條件,即GaN市場更具有潛在商機(jī)。
為進(jìn)一步推動我國在氮化鎵功率電子器件領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2017年11月1日-3日,由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟和中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會主辦的2017國際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2017)將于2017年11月1日-3日在北京首都機(jī)場希爾頓酒店召開。同期,由香港科技大學(xué)教授陳敬和中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米測試中心研究員、蘇州納維科技有限公司董事長徐科領(lǐng)銜的“氮化鎵功率電子器件”技術(shù)分會也備受業(yè)界關(guān)注。
據(jù)了解,陳敬教授他所帶領(lǐng)的團(tuán)隊(duì)目前的研究重點(diǎn)在于開發(fā)電力電子、無線電/微波及耐高溫電子應(yīng)用等方面的GaN器件技術(shù)。徐科老師頭銜也很多,他是中科院蘇州納米所研究員、博士生導(dǎo)師、納米測試中心主任,也是蘇州納維科技有限公司董事長。他長期圍繞高質(zhì)量氮化物半導(dǎo)體材料生長及相關(guān)生長裝備和測試分析儀器的研究與研發(fā)。
該分會特邀報(bào)告人美國倫斯勒理工大學(xué)教授周達(dá)成,加拿大多倫多大學(xué)電子與計(jì)算機(jī)工程學(xué)部教授Wai Tung NG,中國科學(xué)院固態(tài)照明研發(fā)中心研究員張連,中國科學(xué)院微電子研究所研究員黃森等國內(nèi)外知名專家學(xué)者,聚焦主題涵蓋大尺寸襯底上橫向或縱向氮化鎵器件外延結(jié)構(gòu)與生長、氮化鎵電力電子器件的新結(jié)構(gòu)與新工藝開發(fā)、高效高速氮化鎵功率模塊設(shè)計(jì)與制造,氮化鎵功率應(yīng)用與可靠性等,將全面呈現(xiàn)國際氮化鎵功率電子器件領(lǐng)域的應(yīng)用與最新技術(shù)進(jìn)展。
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