材料與裝備技術(shù)對(duì)于LED性價(jià)比的提升至關(guān)重要，也是LED照明市場(chǎng)獲得發(fā)展的關(guān)鍵推動(dòng)力。隨著半導(dǎo)體照明進(jìn)入新的發(fā)展階段，進(jìn)一步提高LED的發(fā)光效率和降低LED的制備成本仍然非常重要。

2017年11月1-3日，由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、北京市順義區(qū)人民政府主辦的第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇暨 2017 國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇開幕大會(huì)在北京順義隆重召開。

期間，SSLCHINA 2017的經(jīng)典分會(huì)“材料與裝備技術(shù)”如期舉行。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司、維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易（上海）有限公司為本次分會(huì)提供了協(xié)辦支持。

從內(nèi)容來看，本屆分會(huì)兼顧內(nèi)容的廣度與深度，前沿大勢(shì)與實(shí)用技術(shù)的搭配，重量級(jí)特邀報(bào)告陸續(xù)登場(chǎng)。美國(guó)密歇根大學(xué)教授Pei-Cheng KU，挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN，北京大學(xué)教授陳志忠、南昌大學(xué)教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術(shù)員胡建正、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)，德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司副總裁Michael HEUKEN  等來自中外的強(qiáng)勢(shì)力量聯(lián)袂帶來精彩報(bào)告。中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜，河北工業(yè)大學(xué)教授畢文剛共同主持了本次分會(huì)。

會(huì)上，美國(guó)密歇根大學(xué)教授Pei-Cheng KU 分享了照明和顯示應(yīng)用GaN納米結(jié)構(gòu)的局部應(yīng)變工程技術(shù)。

經(jīng)過多年的發(fā)展，我國(guó)已經(jīng)成為半導(dǎo)體照明領(lǐng)域的制造和應(yīng)用大國(guó)。高品質(zhì)LED照明應(yīng)具備低色溫、高顯色指數(shù)、高光效、對(duì)人眼安全與舒適等特點(diǎn)。目前LED依然不夠成熟，藍(lán)光和紅光LED的外量子效率已經(jīng)分別超過70%和50%，而黃光效率顯著低于藍(lán)光和紅光光效，這個(gè)現(xiàn)象被稱為“黃光鴻溝”。 南昌大學(xué)教授劉軍林介紹了無熒光粉照明技術(shù)，分享了在解決“黃光鴻溝”方面取得的突破。

材料是技術(shù)發(fā)展的物質(zhì)基礎(chǔ)。 挪威科技大學(xué)教授Helge WEMAN介紹了石墨烯/玻璃上AlGaN納米線倒裝紫外LED生長(zhǎng)。

重大裝備及材料技術(shù)的進(jìn)展，時(shí)刻牽動(dòng)著產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展命脈，MOCVD設(shè)備作為L(zhǎng)ED領(lǐng)域最為重要的裝備，其發(fā)展一直是業(yè)內(nèi)關(guān)注的焦點(diǎn)，近些年中國(guó)設(shè)備廠商進(jìn)步明顯。會(huì)上，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司主任研究員胡建正介紹了基于高產(chǎn)率MOCVD平臺(tái) - AMEC Prismo A7TM的氮鎵LED生長(zhǎng)研究，分享了中微最新的設(shè)備，并分享了4寸、6寸LED在藍(lán)寶石襯底上的實(shí)驗(yàn)結(jié)構(gòu)。

北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)分享了LED工業(yè)中的干法刻蝕工藝技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備。介紹了LED領(lǐng)域所用到的一些設(shè)備、干法刻蝕以及北方華創(chuàng)在LED領(lǐng)域最近所做的工作和一些進(jìn)展。

Micro LED顯示應(yīng)用近來很火， 德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司全球副總裁、德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)教授Michael HEUKEN  介紹了Micro LED顯示屏–高產(chǎn)率MOCVD工藝路徑，分享了市場(chǎng)的應(yīng)用以及市場(chǎng)的增長(zhǎng)，介紹了微型的LED還有微型LED的一些生產(chǎn)平臺(tái)等技術(shù)。

圖形化藍(lán)寶石襯底(PSS)已經(jīng)被廣泛用于提高LED的晶體質(zhì)量以及出光效率。不過，對(duì)于  納米PSS（NPSS）是否可以有效提高晶體質(zhì)量還有不同的看法。此次會(huì)上，北京大學(xué)教授陳志忠分享了基于納米圖案藍(lán)寶石襯底通過MOCVD生長(zhǎng)藍(lán)綠色LED的研究成果。