中國是當前全球最大的集成電路消費國，半導體設(shè)備與材料多年來一直被視為中國集成電路產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的一大瓶頸和短板。隨著國內(nèi)新一輪集成電路投資擴產(chǎn)熱潮的興起，半導體設(shè)備需求也水漲船高。
MOCVD技術(shù)前沿研究進展如何？
金屬有機化學氣相淀積（MOCVD）技術(shù)自二十世紀六十年代提出以來，取得了飛速進步，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于制備氮化物、砷化物、磷化物、碲化物、氧化物等重要半導體材料及其量子結(jié)構(gòu)，極大地推動了光電器件和電子器件的發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化，也成為半導體超晶格、量子阱、量子線、量子點結(jié)構(gòu)材料與器件研究的關(guān)鍵技術(shù)。未來MOCVD技術(shù)的發(fā)展將會給化合物半導體科學技術(shù)和產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來更為廣闊的前景。
同時，MOCVD是LED生產(chǎn)過程中的核心裝備，是決定LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展技術(shù)水平的關(guān)鍵因素。由于技術(shù)含量高，MOCVD設(shè)備站在了LED行業(yè)價值鏈的頂端，MOCVD設(shè)備是專利技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，而其核心技術(shù)大多掌握在美國Veeco和德國Aixtron等國外企業(yè)手中，并且多年以來這兩家企業(yè)占領(lǐng)了全球90%以上的MOCVD設(shè)備市場，其技術(shù)水平、規(guī)模效應(yīng)、品牌效應(yīng)、客戶資源等都達到了相當?shù)母叨取?/div>
高端裝備與核心裝置是“大國重器”，是我國成為制造強國的基礎(chǔ)。國產(chǎn)半導體設(shè)備廠商近年來不斷加大自主研發(fā)力度，半導體設(shè)備國產(chǎn)化比重逐步提升，一些行業(yè)龍頭企業(yè)也正迎來發(fā)展拐點。特別是近年來國產(chǎn)化的大力推進，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備開始贏得了國內(nèi)LED芯片廠商的認可。國際設(shè)備廠商在中國市場的份額逐漸被國產(chǎn)設(shè)備擠壓，并且在技術(shù)上也逐漸被國內(nèi)設(shè)備廠商趕上。
此外，《中國智能制造“十三五”規(guī)劃》中提出十大重點任務(wù)，其中一個就是加快智能制造裝備發(fā)展，攻克關(guān)鍵技術(shù)裝備，提高質(zhì)量和可靠性，推進在重點領(lǐng)域的集成應(yīng)用。政府還要推動重點領(lǐng)域智能轉(zhuǎn)型，在《中國制造2025》十大重點領(lǐng)域試點建設(shè)數(shù)字化車間/智能工廠，在傳統(tǒng)制造業(yè)推廣應(yīng)用數(shù)字化技術(shù)、系統(tǒng)集成技術(shù)、智能制造裝備。到2020年，我國將建立完善的智能制造裝備產(chǎn)業(yè)體系，實現(xiàn)裝備的智能化及制造過程的自動化。
MOCVD作為半導體產(chǎn)業(yè)最為核心的重大裝備之一，其技術(shù)進步與裝備智能化、國產(chǎn)化將成為產(chǎn)業(yè)界共同關(guān)注的話題。當前，MOCVD前沿研究技術(shù)進展如何，裝備國產(chǎn)化及核心工藝又有哪些新突破？此刻，與MOCVD相關(guān)的“政產(chǎn)學研用”各界代表們都需要認真了解一下。或許，全國MOCVD學術(shù)會議是最佳選擇！
如何破解“卡脖子”的MOCVD技術(shù)？
習近平總書記曾說過：“我們的科技創(chuàng)新同國際先進水平還有差距，當年我們依靠自力更生取得巨大成就。現(xiàn)在國力增強了，我們?nèi)砸^續(xù)自力更生，核心技術(shù)靠化緣是要不來的”。“高端科技就是現(xiàn)代的國之利器。近代以來，西方國家之所以能稱雄世界，一個重要原因就是掌握了高端科技。真正的核心技術(shù)是買不來的。”
“一代材料，一代器件，一代工藝，一代裝備”。正值中美貿(mào)易戰(zhàn)糾葛時期，核心技術(shù)受制于人的中興成了全球熱議焦點。以此為鑒，MOCVD技術(shù)及重大裝備如果不能與世界頂尖水平保持一致， 如果核心元器件嚴重依賴外國，供應(yīng)鏈的“命門”掌握在別人手里，我國半導體產(chǎn)業(yè)將面臨更大的損失。所以，新材料、新技術(shù)及新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)的新時代，產(chǎn)業(yè)如何順應(yīng)趨勢發(fā)展？科研人員如何緊跟領(lǐng)域前沿做好新材料、新器件、新工藝和新裝備的研發(fā)，就要在關(guān)鍵領(lǐng)域、卡脖子的地方要下大功夫。
全國MOCVD學術(shù)會議作為MOCVD技術(shù)和化合物半導體材料器件研發(fā)交流的平臺，自1989年第一屆會議舉辦以來，每兩年一屆至今已經(jīng)成功舉辦十四屆，會議規(guī)模和影響力越來越大，成為全國學術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界廣泛參與的學術(shù)盛會。今年第十五屆全國MOCVD學術(shù)會議將定于2018年8月21-24日在紅色文化聞名中外的江西·井岡山舉行。大會將圍繞“MOCVD與智能光電”主題，深入探討“卡脖子”的半導體超晶格、量子阱、量子線、量子點結(jié)構(gòu)材料與器件研究的關(guān)鍵技術(shù)，探索MOCVD技術(shù)及裝備在光電器件和電子器件的發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。
屆時，來自祖國大陸和港澳臺地區(qū)的與會專家學者、工程技術(shù)人員和企業(yè)家將在MOCVD生長機理與外延技術(shù)、MOCVD設(shè)備（整機/部件/配件/原材料）、材料結(jié)構(gòu)與物性、光電子器件、電力電子器件、微波射頻器件、LED智能照明與物聯(lián)網(wǎng)、半導體激光器、光伏/光探測器、可見光通信技術(shù)等領(lǐng)域開展廣泛交流，了解發(fā)展動態(tài)，促進相互合作。這次會議必將對我國MOCVD學術(shù)研究、技術(shù)進步及第三代半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到有力的推動作用。
三十年的傳承與積淀，兩年一次的相聚與暢談，是重逢，更是見證！2018年8月21-24日，讓我們相聚井岡山紅色革命根據(jù)地，聊一聊“卡脖子”的技術(shù)！更多詳情請查看第十五屆全國MOCVD學術(shù)會議官網(wǎng)：http://www.mocvd.org.cn/
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