最近中科院研發成功紫外超分辨光刻機的消息刷屏了，使用365nm波長就能實現單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，這個技術水平在光刻機中是很了不起的，做到了SP表面等離子體超衍射光刻機的極致，而且價格只有1000-2000萬元，不過中科院的SP光刻機并不能取代ASML的光刻機，二者的用途并不一樣，晶圓廠制造半導體芯片依然離不開ASML的光刻機。
今天臺積電、三星等公司要心驚一下了，因為ASML光刻機交貨遇到問題了，ASML元件供應商Prodrive突遭大火，導致部分生產線及庫存被毀，將影響2019年初ASML光刻機的交付日期，不過今年內的ASML光刻機交付不受影響。
據路透社的消息稱，ASML周一宣布其供應商Prodrive上周六遭遇火災，摧毀了Prodrive公司部分生產線及庫存，ASML公司正在尋找其他供應來源，并幫助Prodrive盡快重啟生產。ASML首席執行官兼總裁Peter Wennink在一份聲明中表示：“我們希望Prodrive的管理層和員工在恢復生產過程中一切順利，并盡可能地為他們提供支持。”
根據美國調研機構的資料顯示，2017年ASML在全球半導體光刻設備廠中以85%的市占率穩居龍頭，其次是日本廠商尼康（Nikon )的10.3%，以及佳能 ( Canon ) 的4.3%，而ASML已經是連續16年穩居市場第一。
供應商遭遇火災導致產能及庫存受損，這對ASML的光刻機交付也會產生影響，ASML公司表示今年內的光刻機交付不會有任何變化，需要幾周時間來評估這次危機對他們業務的整體影響。隨后ASML更新的聲明中強調雖然2018年的光刻機訂單交付沒問題，但是2019年初的ASML光刻機會延期交付，但延期多久上尚無消息。
根據ASML公司早前財報中的消息，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數量將達到18臺，而2019年EUV光刻機預計出貨數量達到30臺。
ASML的EUV光刻機大客戶除了三星、臺積電及英特爾之外，國內的中芯國際SMIC今年也訂購了一臺EUV光刻機，預計會在明年初交付，不過中芯國際訂購的EUV光刻機主要用于技術研發，短時間內并沒有量產EUV工藝的需求，延期交付對中芯國際的影響并不大。
相比較而言，2019年初延期交付的EUV光刻機對臺積電、三星的影響更大，不過這也取決于ASML受到Prodrive火災的影響有多大，目前具體的災害損失還沒有結果。
