第三代半導體材料在紫外器件中具備其他半導體材料難以比擬的優(yōu)勢,展現(xiàn)出巨大的應用潛力。
近日,由深圳市龍華區(qū)科技創(chuàng)新局特別支持,國家半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)、第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)主辦,深圳第三代半導體研究院與北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司共同承辦的第十六屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA 2019)暨2019國際第三代半導體論壇(IFWS 2019)在深圳會展中心召開。
期間,山西中科潞安紫外光電科技有限公司與中微半導體設備(上海)股份有限公司協(xié)辦的“固態(tài)紫外器件技術(shù)”分會如期召開。分會重點關(guān)注以氮化鋁鎵、氮化鎵為代表的紫外發(fā)光材料,以碳化硅、氮化鎵為代表的紫外探測材料,高效量子結(jié)構(gòu)設計及外延,以及發(fā)光二極管、激光器、光電探測器等核心器件的關(guān)鍵制備技術(shù)。
會上,鄭州大學外籍教授Muhammad Nawaz SHARIF分享了《采用n-AlxGa1-xN低波導層連續(xù)分級生長的深紫外納米線激光二極管光學約束優(yōu)化》的方法,他認為通過設計并模擬了262nm深紫外納米線激光二極管結(jié)構(gòu),提出了兩種參數(shù)相同的結(jié)構(gòu),其n-WG分級不同。并且針對NW-LD1具有x=0.75的n-AlXGa1-xN波導層,NW-LD2具有x=0.75-0.66的n-AlXGa1-xN波導層的兩種條件下,進行了模擬,結(jié)果表明,漸變n-WG比非漸變n-WG具有82%的光限域。連續(xù)分級使激活區(qū)域周圍的實際指數(shù)平滑變化,從而產(chǎn)生線性電特性。通過結(jié)論證明了可以采用n-AlxGa1-xN低波導層連續(xù)分級生長能優(yōu)化UVC LED材料生長,提高其光學特性。


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