半導(dǎo)體照明網(wǎng)消息：據(jù)“株洲高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)、株洲市天元區(qū)人民政府”官網(wǎng)消息，在新馬工業(yè)園內(nèi)，湖南德智新材料有限公司（以下簡稱“德智新材料”）半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目完成了主體工程建設(shè)，并預(yù)計(jì)在明年初投產(chǎn)。
德智新材料董事長柴攀表示，此次半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)項(xiàng)目，總投資約2.5億元，主要用于半導(dǎo)體用碳化硅蝕刻環(huán)的研發(fā)、制造，投產(chǎn)后年產(chǎn)值超1億元。
消息顯示，SiC刻蝕環(huán)是半導(dǎo)體材料在等離子刻蝕環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材。SiC刻蝕環(huán)對純度要求極高，只能采用CVD工藝進(jìn)行生長SiC厚層塊體，隨后經(jīng)精密加工而制得，主要用于半導(dǎo)體刻蝕工藝的制備環(huán)節(jié)。
據(jù)官方介紹，德智新材料成立于2017年，是一家專業(yè)從事碳化硅納米鏡面涂層及陶瓷基復(fù)合材料研發(fā)，生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)。
消息指出，2018年，德智新材落戶動(dòng)力谷自主創(chuàng)新園。隨后，德智新材自主設(shè)計(jì)的國內(nèi)最大化學(xué)氣相沉積設(shè)備完成調(diào)試投入使用。這個(gè)設(shè)備能在高溫、高真空環(huán)境下合成鏡面納米碳化硅涂層。目前，“德智新材”成為國內(nèi)最大單晶太陽能生產(chǎn)企業(yè)——隆基股份等龍頭企業(yè)的供貨商，并與吉林大學(xué)、中南大學(xué)等高校建立長期合作關(guān)系。
來源：全球半導(dǎo)體觀察
來源：全球半導(dǎo)體觀察
