近日，省科技廳發(fā)布《2022年度山西省科技重大專(zhuān)項(xiàng)計(jì)劃“揭榜掛帥”項(xiàng)目成功揭榜公告》，山西中科潞安紫外光電科技有限公司申報(bào)的“深紫外LED量產(chǎn)型金屬有機(jī)化合物氣相沉積（MOCVD）裝備研發(fā)”項(xiàng)目成功中榜，揭榜單位包括中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所和長(zhǎng)治學(xué)院。該項(xiàng)目將獲得財(cái)政專(zhuān)項(xiàng)經(jīng)費(fèi)900萬(wàn)元。這是長(zhǎng)治高新區(qū)深入實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，積極開(kāi)展前瞻性、引領(lǐng)性科學(xué)技術(shù)研究和關(guān)鍵共性技術(shù)攻關(guān)的又一重要成果。

該項(xiàng)目投資總經(jīng)費(fèi)3000萬(wàn)元，將研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型高溫MOCVD裝備，其硬件及材料、器件性能可達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。該項(xiàng)目的實(shí)施，將填補(bǔ)專(zhuān)用于深紫外LED量產(chǎn)型MOCVD裝備（一次生長(zhǎng)20片以上2英寸外延片）的世界空白，突破制約深紫外LED發(fā)展的最大瓶頸，有效支撐和延伸我省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，為全市經(jīng)濟(jì)高質(zhì)量發(fā)展注入活力。