記者獲悉，中微半導體設備(上海)有限公司(下稱中微半導體)獲得國家集成電路基金4.8億元投資。這是繼長電科技后，國家集成電路基金出手的第二次投資;也是上海半導體行業獲得的第一筆國家基金投資。

據了解，中微半導體2004年成立，是國內首家加工亞微米及納米級大規模集成線路關鍵設備的公司。該公司總部位于浦東金橋出口加工區(南區)，擁有2.8萬平方米的廠區，內設潔凈室、生產、研發等專屬區域。去年12月30日，金橋集團位于臨港綜合區的“上海臨港IC與智能裝備產業示范園區”正式揭牌，中微半導體成為首批入駐的三家企業之一，為其進一步扎根浦東發展提供了空間。

中微半導體主要的產品為等離子刻蝕機，其28nm-15nm的耦合等離子體介質刻蝕機去年獲得了中國國際工業博覽會金獎，產品出口額占我國泛半導體設備出口額的僅8成，擁有臺積電、英特爾等客戶。

上海也積極推動集成電路這一“國家戰略”，已經擁有較為完備的產業鏈布局。“集成電路產業可以被視作是‘國家戰略’，產業基金是進一步布局的具體舉措。浦東此前已推薦過一些項目納入產業基金的重點關注目錄。”浦東新區經濟和信息化委員會副主任張愛平表示，目前，浦東既有銳迪科、展訊通信、中芯國際、華力微電子等芯片制造企業，又擁有中微半導體、盛美半導體等上下游設備制造企業，產業鏈相對完備，“中微半導體成為國家集成電路產業投資基金首個完成投資的項目，有望奠定浦東在國內集成電路的產業地位，成為全球集成電路產業崛起的高地。”