2017年8月1日，全球領先的半導體行業(yè)沉積設備供應商AIXTRON愛思強股份有限公司（法蘭克福證券交易所：AIXA）今日宣布，AIXTRON愛思強近耦合噴淋頭(CCS)全新的工藝腔室已通過全球領先的中國光電制造商三安光電的成功驗證。該工藝腔室經(jīng)過全新的設計，用于生產(chǎn)深紫外光LED。

 

　　基于AIXTRON愛思強久經(jīng)驗證的近耦合噴淋頭技術，此全新的工藝腔室是首個提供極高制程溫度，以滿足深紫外光LED生產(chǎn)的商用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)反應器。腔室的性能提高后，將促進深紫外光LED的大批量、低成本生產(chǎn)，可用于水凈化和空氣凈化等應用。19x2英寸的配置意味著此腔體是目前深紫外高端MOCVD市場的最大腔體配置。

 

　　三安光電技術中心副總卓昌正博士表示：“AIXTRON愛思強近耦合噴淋頭反應器全新的設計是推動三安光電生產(chǎn)新一代深紫外光LED產(chǎn)品的關鍵因素，有助于提高量子效率和極大提高輸出功率。業(yè)已成為最大的LED供應商之一，AIXTRON愛思強全新設計的工藝腔室為我們實現(xiàn)在深紫外光LED領域的戰(zhàn)略目標提供全力支持，進一步增強我們的行業(yè)領導力。因此，我們非常高興能夠成為首家驗證并使用AIXTRON愛思強全新反應器設備套件的公司。”