Micro LED關鍵的巨量轉移技術對外延技術的波長均勻性和缺陷密度提出了更嚴格的要求，而MOCVD作為外延技術的核心設備，也需要不斷創新以滿足Micro LED規模化量產的需求。

 

據介紹，愛思強一直致力于研發助力Micro LED量產的MOCVD設備，其AIX G5+C系統結合UV高溫測量法，在外延制程中對薄膜表面溫度進行晶圓級控制（基于自動加載技術），從而精準控制銦與多量子阱（MQW）的融合，而這個環節最終決定了波長的均勻性。

 

愛思強表示，C2C自動卡匣晶圓傳輸技術和爐內原位清潔技術可確保操作過程或外延制程中無顆粒污染薄膜，提高產量的同時保證外延片的顆粒密度。此外，愛思強MOCVD系統在波長均勻性保持在4nm范圍內的前提下，將缺陷密度低控制在0.10 #/cm2，大幅提高了外延技術的良率。
 

2020年，由于Micro LED等高端市場需求不斷增長，愛思強全年業績符合預期，實現營收2.69億元，同比微增4%；毛利為1.08億元，同比大致持平；自由現金流為1400萬歐元，同比下降60%。

 

全年新增訂單3.014億歐元，同比增長30%，其中，第四季度表現尤為突出，新增訂單金額達9220萬歐元，環比增長30%，創下2011年以來單季新高記錄。

 

從區域來看MOCVD的銷售額，亞洲地區占比達73%，同比增長了5%；歐洲和美洲地區的銷售額占比分別為15%和12%，而去年同期占比均為16%。

 

展望2021財年，愛思強預計新增訂單、營收和收益都將顯著增長，新增訂單總額預估為3.4-3.8億歐元；毛利率預計約為40%。

 

據了解，近兩年來，錼創和康佳先后采購了愛思強的AIX G5+C等設備，用于加速Micro LED的開發和生產工作，目前愛思強的訂單量呈現不斷增長的趨勢。