2017年11月1日-3日，第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2017）暨 2017 國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS 2017）在北京順義隆重召開。論壇由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、北京市順義區(qū)人民政府主辦，中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會(huì)、北京半導(dǎo)體照明科技促進(jìn)中心和北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。論壇同時(shí)得到了科技部、發(fā)改委、國(guó)標(biāo)委和北京市科委等主管部門的大力支持。

11月2日下午，SSLCHINA 2017之材料與裝備技術(shù)分會(huì)如期舉行。中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司、維易科精密儀器國(guó)際貿(mào)易（上海）有限公司為本次分會(huì)提供了協(xié)辦支持。

美國(guó)密歇根大學(xué)教授Pei-Cheng KU，挪威科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授、挪威科學(xué)技術(shù)院院士Helge WEMAN，北京大學(xué)教授陳志忠、南昌大學(xué)教授劉軍林、中微(上海)有限公司首席技術(shù)員胡建正、北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅(jiān)，德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理Michael HEUKEN、美國(guó)維易科精密儀器有限公司市場(chǎng)營(yíng)銷總監(jiān)Mark MCKEE等來(lái)自中外的強(qiáng)勢(shì)力量聯(lián)袂帶來(lái)精彩報(bào)告。中科院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心副主任王軍喜，河北工業(yè)大學(xué)教授畢文剛共同主持了本次分會(huì)。　

圖形化藍(lán)寶石襯底(PSS)已經(jīng)被廣泛用于提高LED的晶體質(zhì)量以及出光效率。許多研究者報(bào)道了當(dāng)圖形尺寸減少到納米尺度，LED出光效率將進(jìn)一步提升。但是，納米PSS（NPSS）是否可以有效提高晶體質(zhì)量還有不同的看法。會(huì)上，北京大學(xué)教授陳志忠介紹了基于納米圖案藍(lán)寶石襯底通過(guò)MOCVD生長(zhǎng)藍(lán)綠色LED。

陳志忠表示，GaN基青光LED通過(guò)低壓金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）生長(zhǎng)得到。首先在成核層上進(jìn)行兩步法高溫生長(zhǎng)GaN模板，接著在模板上生長(zhǎng)青光LED，波長(zhǎng)為490nm。通過(guò)測(cè)量發(fā)現(xiàn)，NPSS上生長(zhǎng)的青光LED的光致發(fā)光（PL）、電致發(fā)光（EL）強(qiáng)度比平面藍(lán)寶石上的分別高3倍和61%。

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