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鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院教授單崇新 :高質(zhì)量金剛石的CVD生長(zhǎng)

放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2017-11-07 來(lái)源:中國(guó)半導(dǎo)體照明網(wǎng)瀏覽次數(shù):844
  2017年11月1日-3日,第十四屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇(SSLCHINA2017)暨 2017 國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇(IFWS 2017)在北京順義隆重召開(kāi)。論壇由國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、北京市順義區(qū)人民政府主辦,中關(guān)村科技園區(qū)順義園管理委員會(huì)、北京半導(dǎo)體照明科技促進(jìn)中心和北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。論壇同時(shí)得到了科技部、發(fā)改委、國(guó)標(biāo)委和北京市科委等主管部門的大力支持。
 
  11月2日下午,“超寬禁帶半導(dǎo)體及其它新型半導(dǎo)體材料”分會(huì)如期舉行。分會(huì)重點(diǎn)關(guān)注超寬禁帶半導(dǎo)體材料的制備、工藝技術(shù)、關(guān)鍵設(shè)備及半導(dǎo)體器件應(yīng)用,聚焦超寬禁帶半導(dǎo)體材料及器件應(yīng)用發(fā)展的新技術(shù)、新應(yīng)用和新趨勢(shì),積極推動(dòng)我國(guó)超寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件應(yīng)用的發(fā)展。
 
  日本Novel Crystal Technology公司總裁Akito KURAMATA,廣西大學(xué)杰出教授、臺(tái)灣大學(xué)榮退教授馮哲川, 西安交通大學(xué)教授王宏興,中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員龍世兵,山東大學(xué)教授陶緒堂,鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授單崇新,河北半導(dǎo)體研究所專用集成電路國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)工程師王晶晶,山東大學(xué)/濟(jì)南中烏新材料有限公司王希瑋等來(lái)自國(guó)內(nèi)外的重量級(jí)嘉賓出席并帶來(lái)了精彩報(bào)告。中科院微電子所教授,中國(guó)科學(xué)院院士劉明與廈門大學(xué)校長(zhǎng)、南京大學(xué)教授張榮共同主持了本屆分會(huì)。
單崇新
 
  鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院院長(zhǎng)、教授單崇新介紹了高質(zhì)量金剛石的CVD生長(zhǎng)。金剛石是自然界產(chǎn)生的最堅(jiān)硬的一種材料,因?yàn)樗鼧O高的硬度,一直被當(dāng)做是打磨的工具,切割的工具等,在不同的方面都有應(yīng)用,日常生活以及工業(yè)生產(chǎn)中都能用到金剛石。除了高硬度以外,金剛石還有很多其他獨(dú)特的特點(diǎn),很適合當(dāng)做半導(dǎo)體材料,比如非常高的帶隙、電壓、非常高的熱傳導(dǎo)性等,這些特點(diǎn)使得金剛石一直被認(rèn)為是重要的,也是非常有潛力的下一代半導(dǎo)體器件的原料。把金剛石材料轉(zhuǎn)變成金剛石器件還有很長(zhǎng)的路要走,也需要很多高品質(zhì)的材料,這是非常基本的一步。
 
  金剛石硬度非常高,在單純利用它的硬度的時(shí)候,雜質(zhì)的含量不是那么重要,但是如果要制造成為半導(dǎo)體器件,純度非常重要,必須要有非常高品質(zhì)的金剛石晶元和晶體。報(bào)告中,單崇新介紹了生長(zhǎng)高純度金剛石的研究成果。他表示,為了實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)的金剛石材料,必須要使用CVD的生長(zhǎng)方式,其團(tuán)隊(duì)研制的單晶體的晶片,品質(zhì)經(jīng)過(guò)了評(píng)估,達(dá)到了非常高的程度。
    (內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理,如有出入敬請(qǐng)諒解)
 
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