近日，Micro OLED、OLED照明量產(chǎn)所使用的欣奕華G2蒸鍍設(shè)備樣機(jī)宣布完成進(jìn)一步調(diào)試工作，年內(nèi)推向市場后，將填補(bǔ)小尺寸OLED蒸鍍設(shè)備的國產(chǎn)化市場的空白。

蒸鍍設(shè)備國產(chǎn)化市場空白嚴(yán)重

據(jù)悉，OLED制造工藝主要包括蒸鍍法和噴墨式印刷法。目前蒸鍍法比較成熟，已經(jīng)大規(guī)模商用；相比之下，噴墨法雖在理論上更為經(jīng)濟(jì)、高效，但其技術(shù)仍不成熟，暫時無法快速實現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)。OLED又可以分為剛性O(shè)LED與柔性O(shè)LED，其差異主要是在基底材蒸鍍技術(shù)制造OLED面板的核心設(shè)備是蒸鍍機(jī)，而這個設(shè)備在面板制造企業(yè)的上游，主要供應(yīng)商是佳能旗下一間名為Canon Tokki的企業(yè)。盡管全球 OLED市場需求暴增，Tokki公司也在不斷投入開發(fā)產(chǎn)能，但是仍然難以滿足客戶的需要，其一年的蒸鍍機(jī)產(chǎn)能也就區(qū)區(qū)幾臺而已。即使強(qiáng)如LG Display這樣的大客戶，也因為蒸鍍機(jī)數(shù)量不足而錯失蘋果大規(guī)模訂單。更何況是在0LED面板行業(yè)亦步亦趨跟隨的國內(nèi)生產(chǎn)廠商。好在京東方、華星光電等公司憑借巨大的投資逐漸在下游環(huán)節(jié)掌握有利地位。但這些提升目前還局限于下游，在上游環(huán)節(jié)中，國內(nèi)企業(yè)的存在感較弱。隨著上文提到的國產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)完成調(diào)試，國內(nèi)面板行業(yè)將迎來巨大轉(zhuǎn)折。

OLED在生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對應(yīng)的三大核心工藝技術(shù)分別為LTPS驅(qū)動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進(jìn)而成為影響產(chǎn)能的關(guān)鍵。賽迪智庫2019年10月整理公開數(shù)據(jù)顯示，截止2018年，OLED蒸鍍設(shè)備的主要生產(chǎn)商為日本佳能Tokki，市場占有率達(dá)到90％。據(jù)悉，佳能Tokki每年產(chǎn)能的90％均被三星包攬，OLED蒸鍍設(shè)備一機(jī)難求已成為了限制國內(nèi)面板廠商擴(kuò)大OLED產(chǎn)能的重要原因。以往，三星和LG Display的產(chǎn)線增建導(dǎo)致OLED蒸鍍設(shè)備幾乎被買斷。

欣奕華OLED蒸鍍機(jī)設(shè)備實現(xiàn)“自發(fā)光”

而隨著韓國企業(yè)OLED產(chǎn)線的投資滯緩，深天馬、京東方、維信諾、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機(jī)，良品率逐步提升。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達(dá)到70％；2019年11月，維信諾昆山5．5代線綜合良率達(dá)90％。預(yù)計到2021年，國內(nèi)面板廠商生產(chǎn)剛性和柔性O(shè)LED面板才能與三星良品率基本持平。可見，OLED蒸鍍機(jī)對行業(yè)發(fā)展的重要意義。

欣奕華智能機(jī)器事業(yè)群總經(jīng)理李清生表示，“我國雖然已成為全球OLED面板生產(chǎn)的主產(chǎn)地之一，但是上游設(shè)備企業(yè)在裝備領(lǐng)域依然集中在中低端和非關(guān)鍵設(shè)備的生產(chǎn)制造階段。”而國內(nèi)建設(shè)的OLED產(chǎn)線，蒸鍍機(jī)等核心裝備基本都依賴進(jìn)口。OLED蒸發(fā)源根據(jù)宏觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發(fā)源和線型蒸發(fā)源。點型蒸發(fā)源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時容易出現(xiàn)clogging或噴濺；線型蒸發(fā)源由于在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發(fā)源不同位置的有機(jī)氣體分子的熱動能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機(jī)分子的蒸鍍速率不同，導(dǎo)致鍍膜的厚度均勻性差；對玻璃基板各子像素進(jìn)行鍍膜時，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前還要對基板進(jìn)行精密對位，這些問題導(dǎo)致整個OLED面板良率不足。針對這些難題，欣奕華研發(fā)團(tuán)隊最終形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系，突破OLED蒸發(fā)源、OLED對位系統(tǒng)等多項關(guān)鍵核心技術(shù)。其自主研發(fā)的OLED點型和線型蒸發(fā)源，已經(jīng)交由客戶驗證通過，成功導(dǎo)入面板龍頭企業(yè)的量產(chǎn)線。佳能Tokki OLED蒸鍍機(jī)精度優(yōu)異，把OLED有機(jī)發(fā)光材料精準(zhǔn)地蒸鍍到基板上，佳能Tokki可以把誤差控制在3um之內(nèi)。欣奕華的OLED蒸鍍機(jī)對位系統(tǒng)（包含G6H、G2．5、G1）的對位精度已達(dá)到國際先進(jìn)水平，部分機(jī)型甚至做到了國際領(lǐng)先，對位精度可控制在1．5um以內(nèi)。除此之外在蒸發(fā)源、真空腔體、封裝、工藝控制技術(shù)等方面，相關(guān)技術(shù)水平已達(dá)到國際先進(jìn)水平，正在逐步追趕國外領(lǐng)先OLED設(shè)備制造企業(yè)。

機(jī)遇和發(fā)展 國內(nèi)企業(yè)需加速創(chuàng)新

這些成績的取得，一方面得益于國家層面的高度重視以及對OLED產(chǎn)業(yè)的規(guī)范化引導(dǎo)，特別是《“十二五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》中明確提出“加快推進(jìn)OLED等新一代顯示技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”；另一方面與較早布局和戰(zhàn)略投入有直接關(guān)系。欣奕華早在2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項目，并建成了3萬平米的OLED蒸鍍機(jī)研制潔凈車間，擁有各類先進(jìn)研發(fā)設(shè)備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團(tuán)隊，形成了完善的OLED技術(shù)研發(fā)體系有著莫大的關(guān)系。欣奕華自主開發(fā)了第一款國產(chǎn)化G1 OLED蒸鍍機(jī)（玻璃基板尺寸200＊200mm），并已通過安徽省新產(chǎn)品鑒定。G1 OLED蒸鍍機(jī)通過了上海某高校教育部國家重點實驗室裝備測試，于2017年交付使用。欣奕華還是國內(nèi)首家開發(fā)出G2．5（玻璃尺寸370mmx470mm）Cluster蒸鍍機(jī)和12寸AR／VR（Wafer直徑300mm）蒸鍍機(jī)的企業(yè)，進(jìn)一步填補(bǔ)了國內(nèi)自主研發(fā)可量產(chǎn)OLED蒸鍍機(jī)此種機(jī)型的空白。

而在在另外一個賽道—噴墨打印方面，國內(nèi)企業(yè)也取得了較大的進(jìn)展，TCL華星光電完成首發(fā)噴墨打印OLED。不但減少Mask的使用，尤其是EML層FMM的使用，可以大幅減少Mask成本。尤其是避免大尺寸FMM使受應(yīng)力下垂導(dǎo)致的器件不良；解決了蒸鍍制程中因HIL／HTL材料橫向漏電導(dǎo)致的RGB子像素間cross talk問題，材料利用率也有了較大程度的改觀。

技術(shù)路線之爭讓科技充滿著無限變化，其終極目標(biāo)又是殊途同歸，這就是科技創(chuàng)新的魔力。欣奕華們扎根泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端裝備制造領(lǐng)域，在上游取得突破性進(jìn)展讓我們欣喜，距離完成上中下游國產(chǎn)閉環(huán)又邁進(jìn)了一大步，也為高科技發(fā)展的國運之爭作了生動注腳。