MOCVD作為半導(dǎo)體照明核心環(huán)節(jié)的外延片生長(zhǎng)關(guān)鍵設(shè)備，也是制造環(huán)節(jié)中單項(xiàng)投資最大的設(shè)備。目前可以提供工業(yè)化生產(chǎn)MOCVD設(shè)備制造商有限，集中程度較高，主要在歐美和日本。

當(dāng)前，美國(guó)Veeco和德國(guó)Aixtron兩家公司把持了全球MOCVD設(shè)備市場(chǎng)，二者在國(guó)際MOCVD設(shè)備市場(chǎng)上的占有率多年來連續(xù)超過90%，形成了寡頭壟斷的格局，同樣也壟斷了中國(guó)的MOCVD設(shè)備市場(chǎng)，其技術(shù)水平、規(guī)模效應(yīng)、品牌效應(yīng)、客戶資源等都達(dá)到了相當(dāng)?shù)母叨?如圖6)。因此MOCVD設(shè)備很大程度上從成本、產(chǎn)量等方面制約了中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的健康快速發(fā)展。

實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國(guó)產(chǎn)化，將是提升我國(guó)整個(gè)LED產(chǎn)業(yè)的技術(shù)及創(chuàng)新能力的歷史轉(zhuǎn)折點(diǎn)。正是由于國(guó)內(nèi)MOCVD設(shè)備進(jìn)口替代潛力明顯，對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，國(guó)家有關(guān)部門以及地方政府提出的多項(xiàng)為推動(dòng)MOCVD國(guó)產(chǎn)化以及整個(gè)LED行業(yè)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級(jí)的產(chǎn)業(yè)政策，對(duì)MOCVD設(shè)備行業(yè)產(chǎn)生積極的推動(dòng)作用。

中國(guó)MOCVD的技術(shù)開發(fā)始于20世紀(jì)80年代。1986年中科院上海冶金研究所自主研發(fā)出生長(zhǎng)GaAs外延片的水平式MOCVD設(shè)備。自從1986年到現(xiàn)在，中國(guó)MOCVD國(guó)產(chǎn)化的工作一直在持續(xù)。“九五”計(jì)劃期間，863計(jì)劃就有對(duì)MOCVD的研發(fā)項(xiàng)目給予支持，此后的“十五”、“十一五”、“十二五”期間都有對(duì)于MOCVD研發(fā)的支持。

支持我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展的《半導(dǎo)體照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)規(guī)劃》和《半導(dǎo)體照明科技發(fā)展“十二五”專項(xiàng)規(guī)劃》都明確提出在“十二五”期間將“實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國(guó)產(chǎn)化”。其中《半導(dǎo)體照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)規(guī)劃》更是將MOCVD確定為“提升LED照明節(jié)能產(chǎn)業(yè)的整體創(chuàng)新能力”的重要內(nèi)容，進(jìn)行“核心裝備制造技術(shù)-多片式 MOCVD等生產(chǎn)型設(shè)備國(guó)產(chǎn)化關(guān)鍵技術(shù)”的研發(fā)，同時(shí)“著力推進(jìn)核心裝備的引進(jìn)消化吸收和再創(chuàng)新，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)型MOCVD 設(shè)備量產(chǎn)。促進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備、工藝裝備、檢測(cè)設(shè)備制造商與材料工藝研究機(jī)構(gòu)及用戶間的合作。”

從2010年到2013年，在短短3年多時(shí)間內(nèi)，國(guó)內(nèi)先后有近20家企業(yè)，依托不同的技術(shù)來源，加入到了生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的開發(fā)行列，從而使我國(guó)的MOCVD裝備制造技術(shù)，進(jìn)入到產(chǎn)業(yè)化初期。截至2013年底，涉足MOCVD設(shè)備研發(fā)的部分企業(yè)的產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入生產(chǎn)線試生產(chǎn)。

在具體的支持措施中，財(cái)政部發(fā)布了《2013年度電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金項(xiàng)目指南》，其中專門設(shè)置“LED生產(chǎn)用關(guān)鍵裝備(MOCVD)、新型襯底材料(圖形襯底、碳化硅)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目以扶持MOCVD國(guó)產(chǎn)化。2013年10月財(cái)政部《2013年度工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)資金(電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金)項(xiàng)目公示》顯示，多家企業(yè)因MOCVD的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化而榜上有名，其中華燦光電已公告獲政府600萬元人民幣補(bǔ)貼。

除國(guó)家層面的扶持外，各地方政府也對(duì)MOCVD研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化給與政策資金的支持。上海市經(jīng)信委在《推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展2011年工作總結(jié)和2012年工作要點(diǎn)》中強(qiáng)調(diào)要“重點(diǎn)推進(jìn)中微、理想等MOCVD項(xiàng)目”，在《2013年工作要點(diǎn)》中再次強(qiáng)調(diào)要“推進(jìn)MOCVD產(chǎn)業(yè)化”，相關(guān)企業(yè)也由此獲得相應(yīng)的資金支持。

此外，廣東、江蘇、浙江、北京、江西等地方政府也針對(duì)MOCVD研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化設(shè)立專項(xiàng)資金或予以項(xiàng)目支持。以天龍光電為例，其從事MOCVD研發(fā)的子公司已先后獲得江蘇省科技廳和上海市經(jīng)信委各1500萬元的專項(xiàng)資金。

近年來，政府的重視和扶植，各類研發(fā)單位的廣泛參與，以及投資機(jī)構(gòu)的積極支持成為發(fā)展國(guó)產(chǎn)MOCVD的重要基礎(chǔ)，這其中以企業(yè)為主體的產(chǎn)、學(xué)、研聯(lián)合模式發(fā)揮了主要作用，同時(shí)傳統(tǒng)半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)入了LED關(guān)鍵設(shè)備產(chǎn)業(yè)，其在技術(shù)、人才、市場(chǎng)、管理等發(fā)面的優(yōu)勢(shì)也成為MOCVD真正走向國(guó)產(chǎn)化的強(qiáng)有力支撐。