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國內碳化硅4英寸晶片已實現大批量產

放大字體  縮小字體 發布日期:2020-07-11 來源:中央紀委國家監委網站瀏覽次數:186

據中央紀委國家監委網站指出,目前中國電科(山西)碳化硅材料產業基地已經實現4英寸晶片的大批量產,6英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底也已經開始工程化驗證,為客戶提供小批量的產品試用,預計年底達到產業化應用與國際水平相當。

今年3月,中國電科(山西)碳化硅材料產業基地在山西轉型綜合改革示范區正式投產,第一批設備正式啟動。基地一期項目可容納600臺碳化硅單晶生長爐,項目建成后將具備年產10萬片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產能力,是目前國內最大的碳化硅材料產業基地。這一基地的啟動,將徹底打破國外對我國碳化硅封鎖的局面,實現碳化硅的完全自主供應。

目前國際上碳化硅晶片的合格率最高是70%-80%,而原來國內實驗室生產的碳化硅晶片的合格率僅有30%。但在碳化硅產業基地,這個合格率可以達到65%。

中電科總經理李斌介紹,現在我們在實現迅速研發的同時也進一步開展量產,三年內整個項目要達到18萬片每年的產能。另外,我們目前在進行8英寸晶片的研究,希望三年之后,我們能有8英寸的樣片出來。因為晶片是整個碳化硅產業鏈的上游,要走到器件研究的前面。

 
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